Jak zlepšuje povlak TaC životnost grafitových komponent? - VeTek Semiconductor

CVD povlak z karbidu tantaluje produkován depozicí páry tantalum karbidu (TAC) na povrchu grafitového substrátu s vysokou čistotou pomocí proprietárního chemického depozice páry vetek Semiconductor.

Povlaky karbidu tantalu (TAC) výrazně zlepšují životnostGrafitové částiProstřednictvím více mechanismů, zejména ve vysoce teplotních, vysoce korozivních prostředích, jako je výroba polovodičů a růst krystalů. 

Zde jsou konkrétní důvody, pročTAC povlakyZvyšte trvanlivost grafitových částí:

●  Vylepšená odolnost vůči vysokým teplotám

Extrémně vysoká tepelná stabilita: TaC povlaky jsou schopny zůstat stabilní při extrémně vysokých teplotách přesahujících 2000 °C a mohou efektivně fungovat i při 2200 °C. Tato vysoká teplotní tolerance umožňuje povlaku odolat erozi roztavených kovů a chemických plynů během výroby polovodičů, čímž se prodlužuje životnost grafitových dílů.

●  Vynikající odolnost proti korozi

Odolnost proti chemické erozi: Povlaky TaC mají silnou odolnost vůči korozivním plynům, jako je vodík, čpavek a křemíkové páry, což může účinně zabránit těmto plynům v korozi grafitového substrátu a snížit riziko poškození grafitových dílů v drsném prostředí. To znamená, že během procesu růstu krystalů může povlak inhibovat migraci nečistot a zlepšit kvalitu krystalů a výtěžek.

●  Vylepšené mechanické vlastnosti

Dobrá odolnost proti adhezi a tepelným šokem: Povlaky TAC mají silnou adhezi k grafitovému substrátu, což zajišťuje, že povlak nebude během operací s vysokou teplotou loupan ani delaminován. Kromě toho jeho vynikající odolnost proti tepelným šokům vydrží rychlé změny teploty bez praskání nebo loupání, což dále prodlouží životnost grafitových částí.

● Snižte kontaminaci nečistot

Ultra vysoká čistota: TaC povlaky mají extrémně nízký obsah nečistot, což pomáhá snižovat problémy s kontaminací, které se mohou vyskytnout při vysokých teplotách. Tím, že povlaky TaC zabraňují migraci nežádoucích nečistot do epitaxní vrstvy, výrazně zlepšují čistotu a kvalitu procesu růstu krystalů.

● Optimalizujte tepelné správu

Zlepšete tepelnou vodivost a měrný odpor: Povlaky TaC mají relativně nízkou tepelnou vodivost a měrný odpor, což umožňuje jejich použití v ohřívačích a dalších komponentách tepelného managementu pro zlepšení energetické účinnosti a snížení energetických ztrát. Tato funkce nejen zlepšuje provozní efektivitu, ale také snižuje únavu materiálu a poškození způsobené přehřátím.