Pevný karbid křemíku

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je důležitou keramickou součástí v zařízeních pro plazmové leptání, pevný karbid křemíku (CVD karbid křemíku) součástí leptacího zařízení patřízaostřovací kroužky, plynová sprchová hlavice, vanička, okrajové kroužky atd. Vzhledem k nízké reaktivitě a vodivosti pevného karbidu křemíku (CVD karbidu křemíku) na leptací plyny obsahující chlór a fluor je ideálním materiálem pro zařízení pro plazmové leptání, fokusační kroužky a další komponenty.

Například zaostřovací kroužek je důležitou součástí umístěnou vně plátku a v přímém kontaktu s plátkem, přivedením napětí na kroužek k zaostření plazmy procházející kroužkem, čímž se plazma soustředí na plátek, aby se zlepšila rovnoměrnost zpracování. Tradiční kroužek ostření je vyroben z křemíku popřkřemenvodivý křemík jako běžný materiál ohniskových kroužků, je téměř blízký vodivosti křemíkových plátků, ale nedostatkem je špatná odolnost proti leptání v plazmatu obsahujícím fluor, materiály pro leptací strojní součásti, které se často používají po určitou dobu, bude vážná jev koroze, který vážně snižuje jeho výrobní efektivitu.

Stuhý kroužek SiC FocusPracovní princip：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Srovnání zaostřovacího kroužku na bázi Si a zaostřovacího kroužku CVD SiC:

Porovnání zaostřovacího kroužku na bázi Si a zaostřovacího kroužku CVD SiC
Položka	A	CVD SiC
Hustota (g/cm³)	2.33	3.21
Pásmová mezera (eV)	1.12	2.3
Tepelná vodivost (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul pružnosti (GPa)	150	440
Tvrdost (GPa)	11.4	24.5
Odolnost proti opotřebení a korozi	Chudý	Vynikající

VeTek Semiconductor nabízí pokročilé díly z pevného karbidu křemíku (CVD karbid křemíku), jako jsou zaostřovací kroužky SiC pro polovodičová zařízení. Naše pevné fokusační kroužky z karbidu křemíku předčí tradiční křemík z hlediska mechanické pevnosti, chemické odolnosti, tepelné vodivosti, odolnosti při vysokých teplotách a odolnosti proti iontovému leptání.

Mezi klíčové vlastnosti našich zaostřovacích kroužků SiC patří:

Vysoká hustota pro snížení rychlosti leptání.

Vynikající izolace s vysokou bandgap.

Vysoká tepelná vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti.

Vynikající odolnost proti mechanickému nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdost, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozi.

Vyrobeno s použitímplazmou zesílená chemická depozice z plynné fáze (PECVD)naše zaostřovací kroužky SiC splňují rostoucí požadavky na leptací procesy při výrobě polovodičů. Jsou navrženy tak, aby vydržely vyšší plazmový výkon a energii, konkrétně vkapacitně vázaná plazma (CCP)systémy.

Zaměřovací kroužky SiC společnosti VeTek Semiconductor poskytují výjimečný výkon a spolehlivost při výrobě polovodičových zařízení. Vyberte si naše SiC komponenty pro vynikající kvalitu a účinnost.

View as

SIC suroviny s vysokou čistotou CVD

SIC suroviny s vysokou čistotou CVD připravenou CVD je nejlepším zdrojovým materiálem pro růst krystalů karbidu křemíku fyzickým transportem par. Hustota suroviny CVD s vysokou čistotou CVD dodávanou polovodičem veteku je vyšší než hustota malých částic tvořených spontánním spalováním plynů obsahujících SI a C a nevyžaduje vyhrazenou slizovací pec a má téměř konstantní míru vypadání. Může růst extrémně vysoce kvalitních sic monokrystalů. Těšíme se na váš dotaz.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Pevný nosič destiček sic

Pevný nosič destiček veteku Semiconductor je navržen pro prostředí odolné proti vysoké teplotě a korozi v polovodičových epitaxiálních procesech a je vhodný pro všechny typy výrobních procesů s vysokým požadavkem na čistotu. Vetek Semiconductor je předním dodavatelem nosiče oplatky v Číně a těší se, že se stane vaším dlouhodobým partnerem v polovodičovém průmyslu.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Pevná sprchová hlava ve tvaru diskového ve tvaru sic

Vetek Semiconductor je předním výrobcem polovodičových zařízení v Číně a profesionálním výrobcem a dodavatelem pevné sprchové hlavy ve tvaru SiC. Naše sprchová hlava tvaru disku se široce používá při výrobě depozice tenkých filmů, jako je proces CVD, aby bylo zajištěno jednotné rozdělení reakčního plynu a je jednou z jádrových složek CVD pece.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Sic těsnicí část

Jako pokročilý výrobce produktů a továrny na výrobky SIC v Číně. Vetetek Semiconducto Sic těsnicí část je vysoce výkonná těsnicí složka široce používaná při polovodičovém zpracování a dalších extrémních vysokoteplotních a vysokotlakých procesech. Vítejte svou další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Křemíkový karbid sprchová hlava

Sprchová hlava karbidu křemíku má vynikající toleranci s vysokou teplotou, chemickou stabilitu, tepelnou vodivost a dobrý výkon distribuce plynu, které mohou dosáhnout jednotného rozložení plynu a zlepšit kvalitu filmu. Proto se obvykle používá v procesech s vysokou teplotou, jako je depozice chemických par (CVD) nebo procesy depozice fyzikální páry (PVD). Vítejte s vašimi dalšími konzultacemi, vetek Semiconductor.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Křemíkový karbid těsnicí kroužek

Jako profesionální výrobce výrobků a továrny na výrobu karbidu křemíku v Číně se v polovodičovém zpracovatelském zařízení široce používá vetetek polovodičový křemíkový karbid. Je zvláště vhodný pro procesy zahrnující vysoké teploty a reaktivní plyny, jako je CVD, PVD a plazmové leptání, a je klíčovým výběrem materiálu v procesu výroby polovodičů. Vaše další dotazy jsou vítány.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Pevný karbid křemíku výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Pevný karbid křemíku vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Pevný karbid křemíku

Mezi klíčové vlastnosti našich zaostřovacích kroužků SiC patří:

SIC suroviny s vysokou čistotou CVD

Pevný nosič destiček sic

Pevná sprchová hlava ve tvaru diskového ve tvaru sic

Sic těsnicí část

Křemíkový karbid sprchová hlava

Křemíkový karbid těsnicí kroužek

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa