Pevný karbid křemíku

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je důležitou keramickou součástí v zařízeních pro plazmové leptání, pevný karbid křemíku (CVD karbid křemíku) součástí leptacího zařízení patřízaostřovací kroužky, plynová sprchová hlavice, vanička, okrajové kroužky atd. Vzhledem k nízké reaktivitě a vodivosti pevného karbidu křemíku (CVD karbidu křemíku) na leptací plyny obsahující chlór a fluor je ideálním materiálem pro zařízení pro plazmové leptání, fokusační kroužky a další komponenty.

Například zaostřovací kroužek je důležitou součástí umístěnou vně plátku a v přímém kontaktu s plátkem, přivedením napětí na kroužek k zaostření plazmy procházející kroužkem, čímž se plazma soustředí na plátek, aby se zlepšila rovnoměrnost zpracování. Tradiční kroužek ostření je vyroben z křemíku popřkřemenvodivý křemík jako běžný materiál ohniskových kroužků, je téměř blízký vodivosti křemíkových plátků, ale nedostatkem je špatná odolnost proti leptání v plazmatu obsahujícím fluor, materiály pro leptací strojní součásti, které se často používají po určitou dobu, bude vážná jev koroze, který vážně snižuje jeho výrobní efektivitu.

Stuhý kroužek SiC FocusPracovní princip：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Srovnání zaostřovacího kroužku na bázi Si a zaostřovacího kroužku CVD SiC:

Porovnání zaostřovacího kroužku na bázi Si a zaostřovacího kroužku CVD SiC
Položka	A	CVD SiC
Hustota (g/cm³)	2.33	3.21
Pásmová mezera (eV)	1.12	2.3
Tepelná vodivost (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul pružnosti (GPa)	150	440
Tvrdost (GPa)	11.4	24.5
Odolnost proti opotřebení a korozi	Chudý	Vynikající

VeTek Semiconductor nabízí pokročilé díly z pevného karbidu křemíku (CVD karbid křemíku), jako jsou zaostřovací kroužky SiC pro polovodičová zařízení. Naše pevné fokusační kroužky z karbidu křemíku předčí tradiční křemík z hlediska mechanické pevnosti, chemické odolnosti, tepelné vodivosti, odolnosti při vysokých teplotách a odolnosti proti iontovému leptání.

Mezi klíčové vlastnosti našich zaostřovacích kroužků SiC patří:

Vysoká hustota pro snížení rychlosti leptání.

Vynikající izolace s vysokou bandgap.

Vysoká tepelná vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti.

Vynikající odolnost proti mechanickému nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdost, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozi.

Vyrobeno s použitímplazmou zesílená chemická depozice z plynné fáze (PECVD)naše zaostřovací kroužky SiC splňují rostoucí požadavky na leptací procesy při výrobě polovodičů. Jsou navrženy tak, aby vydržely vyšší plazmový výkon a energii, konkrétně vkapacitně vázaná plazma (CCP)systémy.

Zaměřovací kroužky SiC společnosti VeTek Semiconductor poskytují výjimečný výkon a spolehlivost při výrobě polovodičových zařízení. Vyberte si naše SiC komponenty pro vynikající kvalitu a účinnost.

View as

CVD sic blok pro růst krystalů SIC

Blok CVD SiC pro růst krystalů SIC, je nový suroviny s vysokou čistotou vyvinuté společností Vetek Semiconductor. Má vysoký poměr vstupního výstupu a může růst vysoce kvalitních silikonových karbidových mono krystalů, což je materiál druhé generace, který nahradí prášek používaný na dnešní trhu. Vítejte v diskusi o technických problémech.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Sic Crystal Growth Nová technologie

Ultra vysoký křemíkový karbid karbidu (SIC) vetek semiconductor vytvořený chemickou depozicí par (CVD) se doporučuje použít jako zdrojový materiál pro pěstování krystalů karbidu křemíku fyzikálním transportem páry (PVT). V nových technologiích růstu krystalů SiC je zdrojový materiál naložen do kelímku a sublimovaný na krystalu semen. Použijte bloky CVD-SIC s vysokou čistotou jako zdroj pro pěstování krystalů SIC. Vítejte a vytvořit s námi partnerství.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

CVD sic sprchová hlava

Vetek Semiconductor je přední výrobce sprchových hlav CVD a inovátor v Číně. Po mnoho let jsme se specializovali na materiál SIC.CVD SIC Sprchová hlava je vybírána jako zaostřovací prstencový materiál díky své vynikající termochemické stabilitě, vysoké mechanické pevnosti a odporu vůči plazmatické erozi. Těšíme se, až se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Sic sprchová hlava

Vetek Semiconductor je přední výrobce sic sprchové hlavy a inovátor v Číně. Po mnoho let jsme se specializovali na materiál SIC. Sprchová hlava SiC je vybírána jako zaostřovací prstencový materiál díky své vynikající termochemické stabilitě, vysoké mechanické síle a odporu vůči erozi plazmy.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Susceptor hlavně potažený SiC pro LPE PE2061S

Jako jeden z předních závodů na výrobu susceptorů destiček v Číně společnost VeTek Semiconductor neustále pokročila ve výrobě susceptorů destiček a stala se první volbou pro mnoho výrobců epitaxních destiček. Barelový susceptor potažený SiC pro LPE PE2061S od společnosti VeTek Semiconductor je určen pro 4'' wafery LPE PE2061S. Susceptor má odolný povlak z karbidu křemíku, který zlepšuje výkon a trvanlivost během procesu LPE (liquid phase epitaxy). Vítáme váš dotaz, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Pevná sic plynová sprchová hlava

Pevná sprchová hlava SIC Plyn hraje hlavní roli při výrobě rovnoměrné uniformy v procesu CVD, čímž zajišťuje rovnoměrné zahřívání substrátu. Vetek Semiconductor je po mnoho let hluboce zapojen do oblasti pevných SIC a je schopen poskytnout zákazníkům přizpůsobené pevné sprchové hlavy SIC. Bez ohledu na to, jaké jsou vaše požadavky, těšíme se na váš dotaz.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Pevný karbid křemíku výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Pevný karbid křemíku vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Pevný karbid křemíku

Mezi klíčové vlastnosti našich zaostřovacích kroužků SiC patří:

CVD sic blok pro růst krystalů SIC

Sic Crystal Growth Nová technologie

CVD sic sprchová hlava

Sic sprchová hlava

Susceptor hlavně potažený SiC pro LPE PE2061S

Pevná sic plynová sprchová hlava

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa