QR kód

O nás
produkty
Kontaktujte nás
Telefon
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína
VETEK Semiconductor Pevný křemíkový karbid je důležitou keramickou složkou v leptacím zařízení v plazmě, karbidu pevného křemíku ((CVD křemíkový karbid) součásti leptacího zařízení zahrnujíZaostření prstenů, plynová sprchová hlavička, podnos, okrajové kroužky atd. Vzhledem k nízké reaktivitě a vodivosti pevného křemíkového karbidu (CVD křemíkového karbidu) na chlor a leptané plyny obsahující fluorinu, je to ideální materiál pro prsteny zaostřující plazmatické vybavení a další komponenty.
Například zaostřovací kroužek je důležitou součástí umístěnou mimo oplatku a v přímém kontaktu s oplatkou použitím napětí na kroužek, aby se zaostřila plazma procházející kroužkem, čímž se zaostřuje plazmu na oplatku, aby se zlepšila uniformita zpracování. Tradiční zaostřovací prsten je vyroben z křemíku nebokřemen, vodivý křemík jako společný zaostřovací prstencový materiál, je téměř blízký vodivosti křemíkových destiček, ale nedostatek je špatná odolnost proti leptání v plazmě obsahující fluorinu v plazmě, které leptají části stroje, které se často používají po určitou dobu, bude existovat vážný jev korozi, což vážně snižuje jeho produkční účinnost.
SOlid Sic Focus RingPracovní princip:
Porovnání zaostřovacího prstenu a CVD SIC zaostřovacího prstenu založeného na SI :
Srovnání zaostřovacího prstenu a zaostřovacího prstenu založeného na SI SI | ||
Položka | A | CVD sic |
Hustota (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
Gap Band (EV) | 1.12 | 2.3 |
Tepelná vodivost (w/cm ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
Elastický modul (GPA) | 150 | 440 |
Tvrdost (GPA) | 11.4 | 24.5 |
Odolnost proti opotřebení | Chudý | Vynikající |
Vetek Semiconductor nabízí pokročilý pevný křemíkový karbid (CVD silikonový karbid) díly, jako jsou SIC zaostřovací prsteny pro polovodičové vybavení. Naše pevný křemíkový karbid zaostřující prsteny překonávají tradiční křemík, pokud jde o mechanickou sílu, chemickou odolnost, tepelnou vodivost, trvanlivost s vysokou teplotou a odolnost proti leptání iontů.
Vysoká hustota pro sníženou rychlost leptání.
Vynikající izolace s vysokou bandgap.
Vysoká tepelná vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti.
Vynikající mechanická odolnost proti nárazu a elasticita.
Vysoká tvrdost, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozi.
Vyrobeno pomocíDepozice chemických par vysílaných v plazmě (PECVD)Techniky, naše prsteny zaměřené na zaměření SIC splňují rostoucí požadavky na procesy leptání ve výrobě polovodičů. Jsou navrženy tak, aby vydržely vyšší plazmatickou energii a energii, konkrétně vkapacitně spojená plazma (CCP)systémy.
SIC zaostřovací prsteny Vetek Semiconductor poskytují výjimečný výkon a spolehlivost ve výrobě polovodičových zařízení. Vyberte si naše komponenty SIC pro vynikající kvalitu a efektivitu.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Všechna práva vyhrazena.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |