Pevný karbid křemíku

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je důležitou keramickou součástí v zařízeních pro plazmové leptání, pevný karbid křemíku (CVD karbid křemíku) součástí leptacího zařízení patřízaostřovací kroužky, plynová sprchová hlavice, vanička, okrajové kroužky atd. Vzhledem k nízké reaktivitě a vodivosti pevného karbidu křemíku (CVD karbidu křemíku) na leptací plyny obsahující chlór a fluor je ideálním materiálem pro zařízení pro plazmové leptání, fokusační kroužky a další komponenty.

Například zaostřovací kroužek je důležitou součástí umístěnou vně plátku a v přímém kontaktu s plátkem, přivedením napětí na kroužek k zaostření plazmy procházející kroužkem, čímž se plazma soustředí na plátek, aby se zlepšila rovnoměrnost zpracování. Tradiční kroužek ostření je vyroben z křemíku popřkřemenvodivý křemík jako běžný materiál ohniskových kroužků, je téměř blízký vodivosti křemíkových plátků, ale nedostatkem je špatná odolnost proti leptání v plazmatu obsahujícím fluor, materiály pro leptací strojní součásti, které se často používají po určitou dobu, bude vážná jev koroze, který vážně snižuje jeho výrobní efektivitu.

Stuhý kroužek SiC FocusPracovní princip：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Srovnání zaostřovacího kroužku na bázi Si a zaostřovacího kroužku CVD SiC:

Porovnání zaostřovacího kroužku na bázi Si a zaostřovacího kroužku CVD SiC
Položka	A	CVD SiC
Hustota (g/cm³)	2.33	3.21
Pásmová mezera (eV)	1.12	2.3
Tepelná vodivost (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul pružnosti (GPa)	150	440
Tvrdost (GPa)	11.4	24.5
Odolnost proti opotřebení a korozi	Chudý	Vynikající

VeTek Semiconductor nabízí pokročilé díly z pevného karbidu křemíku (CVD karbid křemíku), jako jsou zaostřovací kroužky SiC pro polovodičová zařízení. Naše pevné fokusační kroužky z karbidu křemíku předčí tradiční křemík z hlediska mechanické pevnosti, chemické odolnosti, tepelné vodivosti, odolnosti při vysokých teplotách a odolnosti proti iontovému leptání.

Mezi klíčové vlastnosti našich zaostřovacích kroužků SiC patří:

Vysoká hustota pro snížení rychlosti leptání.

Vynikající izolace s vysokou bandgap.

Vysoká tepelná vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti.

Vynikající odolnost proti mechanickému nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdost, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozi.

Vyrobeno s použitímplazmou zesílená chemická depozice z plynné fáze (PECVD)naše zaostřovací kroužky SiC splňují rostoucí požadavky na leptací procesy při výrobě polovodičů. Jsou navrženy tak, aby vydržely vyšší plazmový výkon a energii, konkrétně vkapacitně vázaná plazma (CCP)systémy.

Zaměřovací kroužky SiC společnosti VeTek Semiconductor poskytují výjimečný výkon a spolehlivost při výrobě polovodičových zařízení. Vyberte si naše SiC komponenty pro vynikající kvalitu a účinnost.

View as

Proces chemické depozice par

Vetek Semiconductor byl vždy odhodlán výzkum a vývoji a výrobě pokročilých polovodičových materiálů. Vetetek Semiconductor dnes dosáhl velkého pokroku v procesu chemické depozice párů pevných produktů Sic Edge Ring a je schopen poskytnout zákazníkům vysoce přizpůsobené pevné prsteny Sic Edge. Pevné prsteny okraje SiC poskytují lepší jednotnost leptání a přesné umístění oplatky, když se používají s elektrostatickým sklíčivem, což zajišťuje konzistentní a spolehlivé výsledky leptání. Těšíme se na váš dotaz a stal se navzájem dlouhodobými partnery.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Pevný leptání sic zaostřující prsten

Zaostřovací kroužek pro leptání pevných SiC je jednou ze základních součástí procesu leptání plátků, který hraje roli při fixaci plátku, zaostřování plazmy a zlepšování uniformity leptání plátků. Jako přední výrobce SiC Focusing Ring v Číně má VeTek Semiconductor pokročilou technologii a vyzrálý proces a vyrábí Solid SiC Etching Focusing Ring, který plně vyhovuje potřebám koncových zákazníků podle požadavků zákazníků. Těšíme se na váš dotaz a staneme se vzájemnými dlouhodobými partnery.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Pevný karbid křemíku výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Pevný karbid křemíku vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Pevný karbid křemíku

Mezi klíčové vlastnosti našich zaostřovacích kroužků SiC patří:

Proces chemické depozice par

Pevný leptání sic zaostřující prsten

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa