Křemíkový nitrid

1. Vynikající chemická stabilita

Keramika křemíku nitridu má vynikající chemickou stabilitu a vydrží řadu silných kyselin, alkaliků a korozivních plynů. V procesu výroby polovodičů se často musí vypořádat s korozivními chemikáliemi, keramika křemíkového nitridu může poskytnout dlouhodobou stabilní záruku výkonu.

2. vynikající mechanické vlastnosti

Křemiková keramika křemíku má vysokou tvrdost, vynikající pevnost v tlaku a odolnost proti opotřebení, schopná odolat mechanickému napětí a povrchovému opotřebení, není snadné deformaci nebo prasknutí. Tato mechanická vlastnost je velmi vhodná jako materiál pro strukturální a procesní části v polovodičovém vybavení.

3. Stabilita vysoké teploty

Křemiková keramika křemíku může udržovat stabilitu ve vysokoteplotním prostředí, není snadné změkčit nebo roztavit a vydržet vysokoteplotní zpracování a manipulaci ve výrobním procesu polovodiče. To umožňuje, aby byl použit při výrobě klíčových komponent vysokoteplotního procesního zařízení, jako jsou uchopnutí, komponenty reakční komory atd.

4. Vynikající izolační vlastnosti

Izolační vlastnosti jsou kritické při výrobě polovodičových zařízení. Křemiková keramika křemíku má dobré izolační vlastnosti, které mohou účinně izolovat a chránit složky obvodu před únikem proudu nebo elektromagnetickým rušením, což pomáhá zlepšit stabilitu a spolehlivost zařízení.

5. Tepelná vodivost a tepelná vodivost

Křemiková keramika křemíku má vysokou tepelnou vodivost, může účinně provádět a rozptýlit teplo generované zařízením, což pomáhá udržovat teplotní stabilitu zařízení v operačním procesu. To je rozhodující pro vysoce výkonný provoz polovodičových zařízení.

1. Komponenty elektrostatických sklíčinek a leptací komory

Keramika křemíku nitridu se často používá jako materiály pro elektrostatické sklíčivo a komponenty leptání komory ve výrobě polovodičů kvůli jejich vynikající chemické stabilitě a odolnosti proti vysoké teplotě. Elektrostatické upínače se používají k fixaci a stabilizaci oplatků nebo substrátů, zatímco komponenty leptání komory se používají k odolání korozivních plynů a vysokoteplotních prostředí.

2. destičky a reflektory pro distribuci plynu

Keramika křemíku nitridu se také používá při výrobě polovodičových zařízení v destičkách a reflektorech pro distribuci plynu. Destičky pro distribuci plynu se používají k rovnoměrně distribuci reaktivních nebo ochranných plynů do reakční komory, zatímco reflektory se používají k optimalizaci distribuce a odrazu světla v reakční komoře za účelem zlepšení účinnosti reakce a uniformitě.

3. držáky a tepelné komponenty

Keramika křemíku nitridu se často používá jako držáky a komponenty tepelného řízení ve výrobním zařízení polovodičů. Tyto komponenty musí mít dobrou mechanickou pevnost, odolnost proti opotřebení a tepelnou vodivost, aby se zajistilo stabilní provoz zařízení a přesnost zpracování zařízení.

4. podložky chemického mechanického leštění (CMP)

Keramika křemíku nitridu se široce používá jako materiál podložky v procesu chemického mechanického leštění (CMP). Má vynikající odolnost proti rovinnosti a opotřebení a může poskytnout stabilní podporu během procesu leštění, aby byla zajištěna rovinnost a přesnost povrchu destičky polovodiče.