Nitrid křemíku

VeTek Semiconductor se zaměřuje na výrobu nitridu křemíku a má výzkumný a vývojový tým složený ze starších odborníků a špičkových technických talentů. Keramika z nitridu křemíku má výhody tvrdosti, tepelné odolnosti, odolnosti proti opotřebení a odolnosti proti korozi obecných keramických materiálů a má výhody dobré odolnosti proti tepelnému šoku, odolnosti proti tečení při vysoké teplotě, dobré samomazání a dobré chemické stabilitě a je široce rozšířena. používá se v nové energetice, chemickém průmyslu, letectví a v oblasti polovodičů.

Materiály z nitridu křemíku společnosti VeTek Semiconductor mají následující významné výhody:

1. Vynikající chemická stabilita

Keramika z nitridu křemíku má vynikající chemickou stabilitu a odolá různým silným kyselinám, zásadám a korozivním plynům. V procesu výroby polovodičů se často musí vypořádat s korozivními chemikáliemi, keramika z nitridu křemíku může poskytnout dlouhodobou záruku stabilního výkonu.

2. Vynikající mechanické vlastnosti

Keramika z nitridu křemíku má vysokou tvrdost, vynikající pevnost v tlaku a odolnost proti opotřebení, je schopna odolat mechanickému namáhání a povrchovému opotřebení, není snadná k deformaci nebo protržení. Tato mechanická vlastnost jej činí velmi vhodným jako materiál pro konstrukční a procesní součásti v polovodičových zařízeních.

3. Vysokoteplotní stabilita

Keramika z nitridu křemíku si může udržet stabilitu ve vysokoteplotních prostředích, není snadné ji změkčit nebo roztavit a snese vysokoteplotní zpracování a manipulaci v procesu výroby polovodičů. To umožňuje jeho použití při výrobě klíčových komponent vysokoteplotních procesních zařízení, jako jsou chapadla, komponenty reakčních komor a tak dále.

4. Vynikající izolační vlastnosti

Při výrobě polovodičových součástek jsou rozhodující izolační vlastnosti. Keramika z nitridu křemíku má dobré izolační vlastnosti, které mohou účinně izolovat a chránit součásti obvodu před únikem proudu nebo elektromagnetickým rušením, což pomáhá zlepšit stabilitu a spolehlivost zařízení.

5. Tepelná vodivost a tepelná vodivost

Keramika z nitridu křemíku má vysokou tepelnou vodivost, dokáže účinně vést a odvádět teplo generované zařízením, čímž pomáhá udržovat teplotní stabilitu zařízení v provozním procesu. To je rozhodující pro vysoce výkonný provoz polovodičových zařízení.

Aplikace materiálů nitridu křemíku VeTek Semiconductor v solárním a polovodičovém průmyslu zahrnují zejména:

1. Elektrostatické upínače a komponenty leptací komory

Keramika z nitridu křemíku se často používá jako materiály pro elektrostatická upínače a součásti leptacích komor při výrobě polovodičů kvůli jejich vynikající chemické stabilitě a vysoké teplotní odolnosti. Elektrostatická sklíčidla se používají k upevnění a stabilizaci plátků nebo substrátů, zatímco komponenty leptací komory se používají k tomu, aby odolávaly korozivním plynům a prostředí s vysokou teplotou.

2. plynové distribuční desky a reflektory

Keramika z nitridu křemíku se také používá při výrobě polovodičových zařízení v plynových distribučních deskách a reflektorech. Desky pro distribuci plynu se používají k rovnoměrné distribuci reaktivních nebo ochranných plynů do reakční komory, zatímco reflektory se používají k optimalizaci distribuce a odrazu světla v reakční komoře, aby se zlepšila účinnost a jednotnost reakce.

3. Držáky a tepelné komponenty

Keramika z nitridu křemíku se často používá jako držáky a součásti tepelného managementu v zařízeních na výrobu polovodičů. Tyto součásti musí mít dobrou mechanickou pevnost, odolnost proti opotřebení a tepelnou vodivost, aby byl zajištěn stabilní provoz zařízení a přesnost zpracování zařízení.

4. Chemické mechanické lešticí (CMP) polštářky

Keramika z nitridu křemíku je široce používána jako materiál podložky v procesu chemického mechanického leštění (CMP). Má vynikající rovinnost a odolnost proti opotřebení a může poskytnout stabilní podporu během procesu leštění, aby byla zajištěna rovinnost a přesnost povrchu polovodičové destičky.