Co je to elektrostatické sklíčivo (ESC)?

Elektrostatické sklíčivo (ESC), známé také jako elektrostatické sklíčivo (ESC, E-Chuck), je příslušenství, které používá princip elektrostatické adsorpce k držení a fixaci adsorbovaného materiálu. Je vhodný pro vakuové a plazmatické prostředí. Jeho hlavní funkcí je adsorb ultra-Čisté tenké listy (jako jsou křemíkové oplatky) a udržujte adsorbovaný materiál na dobrou rovinnost, která může také inhibovat deformaci adsorbovaného materiálu během procesu a může upravit teplotu adsorbátu.

Elektrostatické sklíčivo (ESC) je speciální typ upínače, který používá elektrostatickou sílu k držení, stisknutí a vyzvednutí objektů (obrobky). Jakýkoli materiál nese pozitivní a negativní poplatky, které jsou pro pouhé oko neviditelné. Když je materiál umístěn na ESC a na vnitřní elektrody ESC se nanese bipolární napětí, pozitivní a negativní náboje se v materiálu pohybují tak, aby odpovídaly polaritě vnitřních elektrod ESC. Tato přitažlivost mezi ESC a materiálem se nazývá elektrostatická síla a je také základním principem za našimi upínači.

Výhody produktu

Má široký provozní teplotní rozsah (-50 až 700 ℃)

Tyto elektrostatické sací šálky mají vynikající pevnost, tepelnou vodivost a odolnost proti tepelnému nárazu a mohou se přizpůsobit širokému teplotnímu rozsahu prostřednictvím kontroly odporu k keramickému objemu NGK.

Vysoká odolnost proti korozi

Tyto elektrostatické sací šálky mají vynikající odolnost proti korozi vůči halogenním plynům.

Zpracování nízkých částic

Ošetření s nízkým částí lze dosáhnout povrchovým ošetřením a zvláštním čištěním

Vysoká čistota

K dispozici jsou také produkty s čistotou 99,9% nebo vyšší.

Funkce vytápění

Technologie zabudování topného prvku s vysokým přesným topným prvkem může být integrována do funkce topení a teplotu oplatky může být ovládána do ± 1%.

Funkce chlazení

Tyto elektrostatické sací šálky mají extrémně vysoký výkon chlazení spojením keramických desek s vysokou tepelnou vodivostí a chladicími deskami.

Rádiová frekvenční elektroda

Hromadné kovové elektrody mohou současně poskytnout stabilní uplatňování oplatky a generování plazmy rádiové frekvence.

PArameter

1.V oblasti polovodičové a elektronické výroby: Během polovodičových a elektronických výrobních procesů se elektrostatické sací poháry používají k fixaci a zpracování tenkých a křehkých oplatků, oplatky atd. Její výhody spočívají v silné adsorpční síle, žádné mechanické stres a jednoduchý provoz, což účinně zlepšuje účinnost výroby a kvalitu produktu.

2. Skleněné a keramické průmysl: Během procesů řezání, broušení a manipulace se skleněným a keramikem mohou elektrostatické sací šálky provádět nedestruktivní operace na křehkých materiálech, což snižuje míru rozbití produktu.

3. Výroba přesných strojů a optických komponent: Pro přesné stroje a optické komponenty mohou elektrostatické sací šálky poskytnout stabilní adsorpční sílu, přičemž během zpracování zabrání deformaci nebo škrábance.

4. Automatizované výrobní vedení: V automatizovaných výrobních vedeních se elektrostatické sací poháry široce používají v polohování, manipulaci a sestavování dílů atd., Což zvyšuje stupeň automatizace a účinnosti výrobní linky.