Případové studie

Zjistěte, jak voda řízená laserová technologie VeTek poskytuje jednotné průchozí otvory Φ0,15 mm v 2mm SiC substrátech bez zkosení, minimální HAZ a vysoké výtěžnosti pro polovodičové aplikace.

Nejnáročnějším technickým problémem pro duté zvedací kolíky polovodičových zařízení není vnější povrchový povlak, ale dosažení stabilního a rovnoměrného CVD povlaku na vnitřní stěně duté konstrukce. Od kontroly stejnoměrnosti povlaku vnitřních stěn až po zajištění čistoty vnitřního otvoru, každý procesní krok přímo ovlivňuje výtěžnost plátku. Tento článek analyzuje hlavní výzvy povlakování vnitřních stěn dutých zvedacích kolíků a klíčové technické cesty.