Ukázkové mapování

Na základě fyzického vzorku poskytnutého zákazníkem (i když se jedná o opotřebený nebo zlomený použitý díl) nabízíme celospektrální službu od reverzního inženýrství fyzikální struktury až po fyzikálně-chemickou charakterizaci na úrovni materiálu. Využitím vysoce přesného kontrolního zařízení polovodičové kvality přesně kvantifikujeme složité 3D geometrické struktury, vlastnosti rozhraní povlak/substrát a fyzikální parametry materiálu, čímž zajistíme, že produkt s reverzním inženýrstvím splňuje resp. překračuje standardy OEM ve fyzickém přizpůsobení, kompatibilitě procesů a životnosti (náhrada Form-Fit-Function).

Co měříme (technické dodávky):

• Rozměrové a geometrické tolerance:S využitím vysoce přesných souřadnicových měřicích strojů (CMM) a optických 3D skenerů provádíme modelování mraků bodů v plné velikosti a rekonstrukci složitých dutinových struktur a montážních/umístění otvorů s dosahováním přesnosti na úrovni mikronů.
• Mikromorfologie a rovinnost povrchu:Využití interferometrů bílého světla a optických profilometrů k vyhodnocení drsnosti povrchu v nanometrovém měřítku (Ra) a velkoplošné rovinnosti, splňující požadavky na manipulaci s destičkami a utěsnění komory.
• Mikrofunkce Edge:Mapování R-poloměrů hran a mikroprofilů zkosení s velkým zvětšením pro optimalizaci morfologie stoupání povlaku a zamezení koncentrace napětí v ostrých rozích, která může způsobit vysokoteplotní delaminaci.
• Grafitový substrát a analýza tepelné shody:Posouzení hustoty substrátu z vysoce čistého grafitu, velikosti zrna a koeficientu tepelné roztažnosti (CTE) pro zajištění přizpůsobení tepelného napětí mezi substrátem a povlakem CVD.
• Průřez povlaku a kvalita spojování rozhraní:Nedestruktivní XRF a metalografická SEM analýza průřezu pro měření absolutní tloušťky, radiální rovnoměrnosti CVD povlaku a hloubky průniku rozhraní.
• Fázová struktura a analýza mikrokrystalů:XRD hodnocení čistoty kubické fáze (β-SiC) CVD SiC; kvalitativní hodnocení chemické stechiometrie a charakteristik krystalové struktury CVD TaC.

Skutečný případ a výhody pro zákazníky (zkušenosti):

Zákazník s 12palcovým polovodičovým leptacím komponentem:OEM dodávky přerušeny; k dispozici byl pouze jeden opotřebovaný použitý díl. Prostřednictvím reverzního modelování CMM + SEM analýzy průřezu povlaku jsme dokončili vývoj náhradních dílů a testování na nástroji během 2 měsíců bez jakýchkoli originálních výkresů, čímž jsme dosáhli 100% montáže. V konečném důsledku se cyklus nákupu komponent zkrátil z původních 6 měsíců na 2 měsíce, jednotkové náklady na pořízení klesly o 42 % a tento model byl stabilně dodáván pro více než 30 šarží.

Povlak z karbidu křemíku (SiC) na průřezu povlaku SEM

FAQ

Začněte svou exkluzivní službu