Keramika z karbidu křemíku

VeTek Semiconductor je váš inovativní partner v oblasti zpracování polovodičů. S naším rozsáhlým portfoliem kombinací materiálů polovodičové keramiky z karbidu křemíku, možnostmi výroby součástí a službami aplikačního inženýrství vám můžeme pomoci překonat významné výzvy. Technická technická keramika z karbidu křemíku je široce používána v polovodičovém průmyslu díky jejich výjimečnému materiálovému výkonu. Vysoce čistá keramika z karbidu křemíku VeTek Semiconductor se často používá během celého cyklu výroby a zpracování polovodičů.

DIFUZE A ZPRACOVÁNÍ LPCVD

VeTek Semiconductor poskytuje keramické komponenty speciálně navržené pro dávkovou difúzi a požadavky LPCVD, včetně:

• Přepážky a držáky
• Vstřikovače
• Vložky a procesní trubky
• Konzolová pádla z karbidu křemíku
• Oplatkové čluny a podstavce

Konzolové pádlo SiC Procesní trubky SiC Procesní trubice z karbidu křemíku SiC vertikální oplatkový člun SiC horizontální oplatkový člun SiC horizontální čtvercový oplatkový člun SiC LPCVD oplatkový člun SiC horizontální plátová loď SiC keramický těsnící kroužek

KOMPONENTY ETCH PROCESU

Minimalizujte kontaminaci a neplánovanou údržbu pomocí vysoce čistých komponent navržených pro náročné zpracování plazmového leptání, včetně:

RYCHLÉ KOMPONENTY TEPELNÉHO ZPRACOVÁNÍ A EPITAXIÁLNÍHO PROCESU

VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty přizpůsobené pro aplikace vysokoteplotního tepelného zpracování v polovodičovém průmyslu. Tyto aplikace zahrnují RTP, Epi procesy, difúzi, oxidaci a žíhání. Naše technická keramika je navržena tak, aby odolávala teplotním šokům a poskytovala spolehlivý a konzistentní výkon. S komponenty VeTek Semiconductor mohou výrobci polovodičů dosáhnout efektivního a vysoce kvalitního tepelného zpracování, což přispívá k celkovému úspěchu výroby polovodičů.