Křemíkový karbid sic destička loď

VETEKSEMICON SIC Wafer Boat je jádrový nosič navržený speciálně pro vysokoteplotní polovodičové procesy. Tento produkt, který využívá patentovanou technologii depozice chemických párů, využívá izostaticky lisovaný grafit isostaticky lisovaný grafit a vytvoří na povrchu hustou, neporézní ochrannou vrstvu křemíku.

Tato vrstva plynule kombinuje vynikající tepelnou vodivost grafitu s výjimečnou odolností proti korozi křemíkového karbidu. Přísný kontrolovaný povlak dosahuje tloušťky 80-120 μm, účinně odolává korozi z různých kyselých a alkalických atmosféry, což významně snižuje riziko kontaminace kovů. Udržuje strukturální stabilitu a rozměrovou integritu i ve vysokoteplotních prostředích, poskytuje spolehlivou ochranu a podporu oplatkám během kritických procesů, jako je oxidace, difúze a epitaxiální růst, což účinně prodlouží životnost oplatky více než trojnásobkem konvenčních grafitových lodí.

Ⅰ. Technické parametry

Ⅱ. Výhody jádra lodi veteksemicon sic

• Vynikající odolnost proti korozi

Povlak SIC na lodi veteksemicon oplatky je uložen pomocí našeho proprietárního procesu CVD s vysokou teplotou, což má za následek hustou jednotnou strukturu, která je zcela bez pórů a trhlin. Tato pevná bariéra účinně izoluje oplatky z prostředí pece. Silné oxidační atmosféry, fluorované sloučeniny a další korozivní plyny jsou pro tuto ochrannou vrstvu nepropustné. To znamená, že vaše oplatky jsou chráněny před kontaminací, zatímco samotná loď zůstává neporušená prostřednictvím opakovaných extrémních procesů, což výrazně prodlouží jeho životnost.

• Ultra vysoký čistotní materiály

Chápeme, že i nejmenší kontaminace může způsobit, že celou dávku oplatků způsobuje zbytečné. Proto veteksemicon přísně řídí suroviny pomocí importovaného lisovaného grafitu s čistotou přesahující 99,9995% jako substrátu. Potahování SIC nanesené na tomto substrátu také dosahuje 99,999% čistoty, s kritickými nečistotami, jako je sodík, draslík, železo a těžké kovy, udržované na extrémně nízkých hladinách (PPB). Tato téměř intrinská čistota zajišťuje, že se při vysokých teplotách nevypouštějí žádné kontaminanty, což zásadně eliminuje riziko degradace výkonu zařízení v důsledku problémů souvisejících s nosiči.

• Vynikající tepelná stabilita

Výroba polovodičů vyžaduje extrémně konzistentní tepelné procesy. Koeficient tepelné roztažnosti veteksemicon oplatky je pečlivě navržen tak, aby úzce odpovídal koeficitu křemíku. Během rychlého vytápění a chlazení se pohyb lodi a oplatky v synchronizaci výrazně snižuje riziko defektů mřížky a deformace způsobené tepelným napětím. Vydrží nepřetržité provozní teploty až do 1600 ℃, čímž udržuje vynikající mechanickou pevnost a rozměrovou stabilitu i při těchto vysokých teplotách. Tím je zajištěna opakovatelnost a spolehlivost v každém běhu procesu, což poskytuje pevný základ pro kontrolu tolerance ve výrobě čipů.

• Odolná mechanická pevnost

Hodnota našich produktů spočívá nejen v počáteční investici, ale také v dlouhodobých nákladech na vlastnictví. Ve srovnání s tradičními kvartz nebo grafitovými komponenty nabízejí veteksemicon sic destičky výjimečné odolnosti proti opotřebení a nárazu. Jejich vysoká povrchová tvrdost odolává škrábancům a zbytkům během manipulace a čištění. Tato houževnatost jim umožňuje snadno odolávat více než 200 cyklům vysokoteplotních procesů a nezbytných postupů čištění, což výrazně snižuje náklady na zadávání veřejných zakázek, náklady na zásoby a prostoje vybavení spojené s častým výměnou součásti.

• Ověření ověření ekologického řetězce

VeteKsemicon Sic Wafer Boat 'Ekologický řetězový ověření pokrývá suroviny pro výrobu, prošla mezinárodní standardní certifikací a má řadu patentovaných technologií, aby zajistila jeho spolehlivost a udržitelnost v polovodiči a nových energetických oblastech.

Ⅲ. Hlavní pole aplikací

Pro podrobné technické specifikace, bílé příspěvky nebo uspořádání testování vzorků kontaktujte náš tým technické podpory a prozkoumejte, jak může Veteksemicon zvýšit účinnost procesu.

Veteksemicon Products Warehouse