Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní produktové nabídky patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor se zaměřuje na to, aby se stal inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouVodicí kroužek potažený TaC, Třílistý vodicí kroužek potažený CVD TaC, Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC, Planetární epitaxní susceptor SiC povlak CVD TaC, Povlakový kroužek z karbidu tantalu, Porézní grafit potažený karbidem tantalu, Rotační susceptor povlaku TaC, Kroužek z karbidu tantalu, TaC povlaková rotační deska, Susceptor destičky potažený TaC, Deflektorový kroužek potažený TaC, Kryt povlaku CVD TaC, Sklíčidlo potažené TaCatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

●Teplotní stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnost vůči tepelným zásobám

●Silná přilnavost ke grafitu

●Konformní pokrytí povlakem

● Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

●Nosič oplatek

● Indukční topný susceptor

● Odporové topné těleso

●Satelitní disk

●Sprchová hlavice

●Vodící kroužek

●LED Epi přijímač

●Vstřikovací tryska

●Maskovací kroužek

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC
Deska potažená TaC TaC povlaková rotační deska Přijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

CVD TaC potažený grafitový kroužek

CVD TaC Coated Graphite Ring od Veteksemicon je navržen tak, aby splňoval extrémní požadavky na zpracování polovodičových destiček. Pomocí technologie chemického nanášení z plynné fáze (CVD) je na vysoce čisté grafitové substráty aplikován hustý a jednotný povlak z karbidu tantalu (TaC), čímž se dosahuje výjimečné tvrdosti, odolnosti proti opotřebení a chemické inertnosti. Při výrobě polovodičů je grafitový kroužek potažený CVD TaC široce používán v MOCVD, leptacích, difúzních a epitaxních růstových komorách, sloužící jako klíčová konstrukční nebo těsnící součást pro nosiče destiček, susceptory a stínící sestavy. Těšíme se na vaši další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Porézní grafitový kroužek potažený TaC

Porézní grafitový kroužek potažený TaC vyrobený společností VETEK používá lehký porézní grafitový substrát a je potažen vysoce čistým povlakem karbidu tantalu, který se vyznačuje vynikající odolností vůči vysokým teplotám, korozivním plynům a plazmové erozi.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

TAC potažený grafitový vodicí kroužek

Naše příruční prsteny potažené TAC jsou přesné jádrové komponenty pro výrobu polovodičů. Mají vysoce čistý grafitový substrát potažený opotřebeným a chemicky inertním povlakem karbidu tantalu (TAC). Navrženy pro náročné procesy, jako je epitaxiální depozice a leptání v plazmě, zajišťují přesné vyrovnání a stabilitu oplatky, účinně kontrolují kontaminaci a výrazně prodlužují životnost složek. Veteksemicon nabízí služby přizpůsobení tak, aby dokonale odpovídaly vašim zařízením a požadavkům na procesy.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

TAC potažený kroužek pro růst PVT sic Single Crystal

Jako jeden z předních dodavatelů produktů TAC Coating v Číně je Vetek Semiconductor schopen poskytnout zákazníkům vysoce kvalitní přizpůsobené díly TAC. TAC potažený kroužek pro růst PVT SIC Single Crystal je jedním z nejvýznamnějších a vyspělých produktů Vetek Semiconductor. Hraje důležitou roli v růstu PVT v procesu SIC Crystal a může zákazníkům pomoci růst vysoce kvalitních SIC krystalů. Těšíme se na váš dotaz.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

CVD TAC potažený tříbodový vodicí kroužek

Vetek Semiconductor zažil mnoho let technologického vývoje a zvládl přední procesní technologii CVD TAC Coating. CVD TAC potažený tříbodový vodicí kroužek je jedním z nejzranitelnějších produktů CVD TAC veteku Semiconductor a je důležitou součástí pro přípravu krystalů SIC metodou PVT. S pomocí vetek Semiconductor se domnívám, že vaše produkce krystalů SIC bude plynulejší a efektivnější.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Tantalum Carbid Coating Ring

Povlakovací kroužek veteku polovodiče tantalum karbid je nezbytnou součástí v polovodičovém průmyslu, konkrétně při leptání sic oplatky. Jeho kombinace grafitové základny a povlaku TAC zajišťuje vynikající výkon ve vysoké teplotě a chemicky agresivním prostředí. Díky zvýšené tepelné stabilitě, odolnosti proti korozi a mechanické pevnosti pomáhá kroužek potaženého karbidem Tantalum výrobce polovodičů dosáhnout přesnosti, spolehlivosti a vysoce kvalitních výsledků v jejich výrobních procesech.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Povlak z karbidu tantalu

Klíčové vlastnosti:

Aplikace:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Data EDX povlaku TaC：

Data krystalové struktury povlaku TaC:

CVD TaC potažený grafitový kroužek

Porézní grafitový kroužek potažený TaC

TAC potažený grafitový vodicí kroužek

TAC potažený kroužek pro růst PVT sic Single Crystal

CVD TAC potažený tříbodový vodicí kroužek

Tantalum Carbid Coating Ring

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa