Porézní grafitový kroužek potažený karbidem tantalu (TaC).

Vlastnosti produktu

• Základní vybavení:Určeno pro monokrystalické růstové pece SiC, které pracují s technologií PVT.
• Primární aplikace:Vhodné pro systémy tepelného pole při růstu polovodičových krystalů SiC třetí generace.
• Stabilita při vysokých teplotách:Povlak TaC si zachovává strukturální integritu i při extrémně vysokých teplotách a podporuje prodloužený provoz v náročných tepelných prostředích.
• Ochrana proti korozi:Hustá vrstva CVD TaC chrání grafitový substrát před výpary křemíku, plyny nesoucími uhlík a dalšími korozivními látkami, které se vyskytují během růstu SiC.
• Výkon tepelného pole:Porézní grafitový základ napomáhá distribuci tepla a transportu páry, což pomáhá udržovat stabilní podmínky růstu.
• Nízká kontaminace:Vysoce čisté výchozí materiály a hustý povlak omezují uvolňování nečistot a uvolňování částic, což prospívá kvalitě krystalů.
• Prodloužená životnost:Vrstva TaC zlepšuje odolnost proti oxidaci, tvrdost povrchu a celkovou odolnost při zvýšených teplotách.
• Přilnavost povlaku:Proces CVD poskytuje silnou vazbu mezi filmem TaC a grafitovým substrátem.
• Vlastní možnosti:Rozměry, konstrukční detaily a specifikace povlaku mohou být upraveny tak, aby odpovídaly různým požadavkům růstové pece SiC.

Technické specifikace

Aplikace

VETEK porézní grafitový kroužek potažený TaC se primárně používá v:

• Růst monokrystalu SiC prostřednictvím PVT
• Výroba polovodičů třetí generace
• Výroba SiC substrátu
• Systémy tepelného pole v pecích pro růst krystalů
• Vysokoteplotní zpracování polovodičů
• Pokročilé grafitové komponenty horké zóny

FAQ

1. Co je porézní grafitový kroužek potažený TaC?

Jedná se o součást tepelného pole pro pece pro růst krystalů SiC. Kombinuje porézní grafitovou strukturu s povlakem CVD TaC, který zajišťuje tepelné řízení a ochranu proti vysokoteplotní korozi.

2. Proč používat povlak TaC pro růst krystalů SiC?

TaC poskytuje vysokou teplotní stabilitu a chemickou odolnost. Chrání grafit před působením křemíkových par a pomáhá udržovat čisté a stabilní růstové prostředí.

3. Co nabízí porézní grafitová struktura?

Porézní konstrukce podporuje distribuci tepla a transport plynu uvnitř pece, což přispívá ke stabilním podmínkám růstu krystalů SiC.

4. Může VETEK vyrobit přizpůsobené grafitové kroužky potažené TaC?

Ano. VETEK nabízí přizpůsobení na základě zákaznických výkresů, návrhů pecí a potřeb procesu, včetně rozměrů, konfigurace substrátu a parametrů povlaku.