Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní produktové nabídky patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor se zaměřuje na to, aby se stal inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouVodicí kroužek potažený TaC, Třílistý vodicí kroužek potažený CVD TaC, Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC, Planetární epitaxní susceptor SiC povlak CVD TaC, Povlakový kroužek z karbidu tantalu, Porézní grafit potažený karbidem tantalu, Rotační susceptor povlaku TaC, Kroužek z karbidu tantalu, TaC povlaková rotační deska, Susceptor destičky potažený TaC, Deflektorový kroužek potažený TaC, Kryt povlaku CVD TaC, Sklíčidlo potažené TaCatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

●Teplotní stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnost vůči tepelným zásobám

●Silná přilnavost ke grafitu

●Konformní pokrytí povlakem

● Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

●Nosič oplatek

● Indukční topný susceptor

● Odporové topné těleso

●Satelitní disk

●Sprchová hlavice

●Vodící kroužek

●LED Epi přijímač

●Vstřikovací tryska

●Maskovací kroužek

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC
Deska potažená TaC TaC povlaková rotační deska Přijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

Tantalum Carbide Ring

Jako pokročilý výrobce a výrobce výrobků Tantalum Carbide Ring v Číně má vetek Semiconductor Tantalum Carbide Ring, extrémně vysokou tvrdost, odolnost proti opotřebení, vysokou teplotu a chemickou stabilitu a je široce používán v oblasti výroby polovodiče. Zejména v procesu CVD, PVD, procesu implantace iontů, procesu leptání a zpracování a přepravy oplatky se jedná o nezbytný produkt pro zpracování a výrobu polovodičů. Těšíme se na vaši další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Podpora povlaku tantalum

Jako profesionální výrobce produktů a továrny na výrobu produktů Tantalum v Číně se v Číně vetetek polovodičový tantalum carbid suppora obvykle používá pro povrchový povlak strukturálních komponent nebo podpůrných součástí v polovodičových zařízeních, zejména pro povrchovou ochranu klíčových komponent vybavení v polovodičových výrobních procesech, jako je CVD a PVD. Vítejte svou další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Pruh tantalum karbid

Vetek Semiconductor je profesionální výrobce a vedoucí výrobků Tantalum Carbide Guide Vodní výrobky v Číně. Náš vodicí kroužek karbidu tantalum (TAC) je vysoce výkonná prstencová složka vyrobená z karbidu tantalu, která se běžně používá v polovodičovém zpracovatelském zařízení, zejména ve vysokoteplotním a vysoce korozivním prostředí, jako je CVD, PVD, leptání a difúze. Vetek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé technologické a produktové řešení pro polovodičový průmysl a vítá vaše další dotazy.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Susceptor rotace povlaku TAC

Jako profesionální výrobce, inovátor a vůdce susceptorových produktů TAC Coating v Číně. Susceptor rotace povlaku vetek Semiconductor TAC je obvykle instalován v chemické depozici párů (CVD) a molekulárního paprsku epitaxy (MBE) (MBE) pro podporu a otáčení oplatků, aby bylo zajištěno jednotné ukládání materiálu a účinnou reakci. Je to klíčová součást při zpracování polovodiče. Vítejte svou další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

CVD TAC Coating Crucible

Vetek Semiconductor je profesionální výrobce a vůdce produktů CVD TAC Coating Crucible Crucible v Číně. CVD TAC Coating Crucible je založen na povlaku Tantalum Carbon (TAC). Potahování uhlíku Tantalum je rovnoměrně pokryto na povrchu kelímku prostřednictvím procesu chemické depozice páry (CVD), aby se zvýšila jeho odolnost proti teplu a odolnost proti korozi. Jedná se o materiálový nástroj speciálně používaný v extrémních prostředích s vysokou teplotou. Vítejte svou další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

CVD TAC Coating nosič oplatky

Jako profesionální výrobce produktů a továrny na výrobu výrobků a továrny na vodní destičky CVD v Číně je vetek Semiconductor CVD TAC Coating Coating nosič oplatky pro nošení oplatky speciálně navržený pro vysokou teplotu a korozivní prostředí ve výrobě polovodičů. a nosič Coatingového oplatky CVD má vysokou mechanickou pevnost, vynikající odolnost proti korozi a tepelnou stabilitu, což poskytuje nezbytnou záruku pro výrobu vysoce kvalitních polovodičových zařízení. Vaše další dotazy jsou vítány.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Povlak z karbidu tantalu

Klíčové vlastnosti:

Aplikace:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Data EDX povlaku TaC：

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Tantalum Carbide Ring

Podpora povlaku tantalum

Pruh tantalum karbid

Susceptor rotace povlaku TAC

CVD TAC Coating Crucible

CVD TAC Coating nosič oplatky

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa