Podpora povlaku tantalum

Hlavní funkce vetek SemiconductorTantalum karbid (TAC) povlakPodpora je zlepšitOdolnost proti teplu, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozisubstrátu potahováním vrstvy povlaku karbidu tantalu, aby se zlepšila přesnost a spolehlivost procesu a prodloužila životnost složek. Jedná se o vysoce výkonný povlak používaný v oblasti polovodičového zpracování.

Vetce Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Suppor má mohsovu tvrdost téměř 9 ~ 10, sekundu pouze pro Diamond. Má extrémně silnou odolnost proti opotřebení a může účinně odolat opotřebení povrchu a dopadu během zpracování, čímž účinně prodlouží životnost komponent zařízení. V kombinaci s vysokým bodem tání asi 3880 ° C se často používá pro potahovací klíčové komponenty polovodičového vybavení, jako jsou povrchové povlaky podpůrných struktur, zařízení pro tepelné zpracování, komory nebo těsnění v polovodičových zařízeních, aby se zvýšila odolnost proti opotřebení.

Vzhledem k extrémně vysokému bodu tání tantalum karbidu asi 3880 ° C v procesech zpracování polovodičů, jako je napříkladDepozice chemických par (CVD)aFyzikální depozice páry (PVD), Povlak TAC se silnou odolností proti vysoké teplotě a odolností proti chemické korozi může účinně chránit komponenty zařízení a zabránit korozi nebo poškození substrátu v extrémním prostředích a poskytovat účinnou ochranu prostředí s vysokou teplotou ve výrobě oplatky. Tato funkce také určuje, že podpora povlaku tantalum karbidu Tantalum Vetek Semiconductor se často používá při leptání a korozivních procesech.

Podpora povlaku tantalum karbidy má také funkci snižování kontaminace částic. Během zpracování oplatky obvykle způsobuje kontaminaci částic, což ovlivňuje kvalitu produktu oplatky. Extrémní charakteristiky produktu TAC Coating téměř 9-10 mohs tvrdosti mohou toto opotřebení efektivně snížit, čímž se sníží generování částic. V kombinaci s vynikající tepelnou vodivostí TAC Coating (asi 21 w/m · K) může za udržovat dobrou tepelnou vodivost za podmínek vysokých teplot, čímž výrazně zlepšuje výnos a konzistenci výroby oplatky.

Mezi hlavní produkty TAC veteku polovodiče patříOhřívač povlaku TAC, CVD TAC Coating Crucible, Susceptor rotace povlaku TACaTAC povlak náhradní díla atd. A podpora přizpůsobených produktů. Vetek Semiconductor se zavazuje poskytovat vynikající produkty a technické řešení pro polovodičový průmysl. Upřímně doufáme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Povlak karbidu tantalu (TAC) na mikroskopickém průřezu:

Basic physical properties of CVD TaC coating：