Ohřívač povlaku TAC

TaC Coating Heater je vysoce výkonný topný článek široce používaný v procesech výroby polovodičů. Jeho povrch je potažen materiálem z karbidu tantalu (TaC), který dodává topidlu vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, odolnost proti chemické korozi a vynikající tepelnou vodivost.

Hlavní aplikace TaC Coating Heater ve výrobě polovodičů zahrnují:

 ✔ Během procesu epitaxiálního růstu nitridu gallia (GAN) poskytuje topné ohřívač TAC přesně kontrolované vysokoteplotní prostředí, aby se zajistilo, že epitaxiální vrstva je nanesena na substrát s jednotnou rychlostí a vysokou kvalitou. Jeho stabilní tepelný výstup pomáhá dosáhnout přesného ovládání materiálů tenkých filmů, čímž se zlepšuje výkon zařízení.

 ✔ Navíc v procesu kovové organické chemické depozice páry (MOCVD), kombinovaný s vysokou teplotní odolností a tepelnou vodivostí tac povlaku TAC, se ohřívač povlaku TAC obvykle používá k zahřívání reakčního plynu a poskytnutím rovnoměrného rozdělení tepla, IT, IT. Podporuje jeho chemickou reakci na povrchu substrátu, čímž se zlepšuje uniformitu epitaxiální vrstvy a vytváří vysoce kvalitní film.

 ✔ Vetetek Semiconducto jako vedoucí průmyslového vedení v oboru topných produktů TAC Coating to vždy podporuje služby přizpůsobení produktů a uspokojivé ceny produktů. Bez ohledu na to, jaké jsou vaše specifické požadavky, budeme odpovídat nejlepšímu řešení pro vaše potřeby ohřívače TAC a těšíme se na vaši konzultaci kdykoli.