Co je tantalum karbid tac povlak? - Veteksemicon

Co je Tantalum Carbide (TAC)?

Keramický materiál karbidu Tantalum (TAC) má bod tání až 3880 ℃ a je sloučeninou s vysokým bodem tání a dobrou chemickou stabilitou. Může udržovat stabilní výkon v prostředích s vysokou teplotou. Kromě toho má také odolnost proti vysoké teplotě, odolnost proti chemické korozi a dobrou chemickou a mechanickou kompatibilitu s uhlíkovými materiály, což z něj činí ideální grafitový ochranný materiál. 

Potahování karbidu tantalumůže účinně chránit grafitové komponenty před účinky horkého amoniaku, vodíku, křemíkového páry a roztaveného kovu v prostředích drsných využití, což výrazně prodlouží životnost grafitových komponent a potlačuje migraci nečistot v grafitu, což zajišťuje kvalitu v kvalitěepitaxiálníaRůst krystalů.

Obrázek 1.. Obyčejné komponenty potažené karbidem tantalu

Příprava tac povlaku procesem CVD

Chemická depozice par (CVD) je nejzralejší a nejoptivnější metoda pro výrobu povlaků TAC na grafitových površích.

Použitím tacl5 a propylenu jako zdrojů uhlíku a tantalu a argonu jako nosného plynu je do reakční komory zavedena vysokoteplotní odpařená pára TACL5. Při cílové teplotě a tlaku se páry materiálu prekurzoru adsorbuje na povrchu grafitu a podstupují řadu složitých chemických reakcí, jako je rozklad a kombinace zdrojů uhlíku a tantalu, jakož i řada povrchových reakcí, jako je difúze a desorpce vedlejších produktů předvolby. Nakonec se na povrchu grafitu vytvoří hustá ochranná vrstva, která chrání grafit před stabilní existencí za extrémních podmínek prostředí a významně rozšiřuje aplikační scénáře grafitových materiálů.

Obrázek 2.Princip procesu chemické depozice páry (CVD)

Další informace o zásadách a procesu přípravy CVD TAC Coating naleznete v článku:Jak připravit CVD TAC Coating?

Proč si vybrat veteksemicon?

PolokonHlavně poskytuje výrobky Tantalum Carbide: TAC vodicí prsten, TAC potažený tři kruhové kruh,TAC Coating Crucible, TAC povlak porézní grafit se široce používá, je proces růstu krystalů SiC; Porézní grafit s TAC potaženým, vodicím kroužkem potaženým TAC,Nosič grafitového oplatky potažené TAC, Susceptory povlaku TAC,Planetární susceptorA tyto přípravky na tantalum karbidy se široce používajíProces sic epitaxyaProces růstu s jedním krystalem sic.

Obrázek 3.VeterinářNejoblíbenější produkty EK Semiconductor Tantalum