CVD TAC Coating Crucible

Susceptor rotace TAC Coating hraje klíčovou roli v procesech ukládání vysokých teplot, jako jsou CVD a MBE, a je důležitou součástí zpracování oplatky při výrobě polovodičů. Mezi nimi,TAC povlakmá vynikající odolnost proti vysoké teplotě, odolnost proti korozi a chemickou stabilitu, která zajišťuje vysokou přesnost a vysokou kvalitu během zpracování oplatky.

CVD TAC Coating Crucible obvykle sestává z povlaku TAC agrafitsubstrát. Mezi nimi je TAC keramický materiál s vysokým tání s bodem tání až 3880 ° C. Má extrémně vysokou tvrdost (Vickersova tvrdost až do 2000 HV), odolnost proti chemické korozi a silná odolnost proti oxidaci. Proto je povlak TAC vynikajícím materiálem odolný vůči vysokým teplotám v technologii polovodičového zpracování.

Grafitový substrát má dobrou tepelnou vodivost (tepelná vodivost je asi 21 w/m · K) a vynikající mechanická stabilita. Tato charakteristika určuje, že grafit se stává ideálním povlakemsubstrát.

CVD TAC Coating Crucible se používá hlavně v následujících technologiích zpracování polovodičů:

Výroba oplatky: Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Crucible má vynikající odolnost proti vysoké teplotě (bod tání až do 3880 ° C) a odolnost proti korozi, takže se často používá při výrobních procesech s vysokým teplotou (CVD) a epitaxiální růst. V kombinaci s vynikající strukturální stabilitou produktu v ultra vysokých teplotních prostředích zajišťuje, že zařízení může za dlouhou dobu fungovat po dlouhou dobu za extrémně tvrdých podmínek, čímž účinně zlepšuje efektivitu výroby a kvalitu oplatků.

Proces epitaxiálního růstu: V epitaxiálních procesech, jako napříkladDepozice chemických par (CVD)a epitaxy molekulárního paprsku (MBE), CVD TAC Coating Crucible hraje klíčovou roli při přenášení. Jeho povlak TAC může nejen udržovat vysokou čistotu materiálu při extrémní teplotě a korozivní atmosféře, ale také účinně zabránit kontaminaci reaktantů na materiál a korozi reaktoru, což zajišťuje přesnost výrobního procesu a konzistence produktu.

Jako přední čínský výrobce CVD TAC Coating Crucible Crucible Crucible Crucible Crucible Crucible, vetek Semiconductor poskytuje přizpůsobené produkty a technické služby podle vašich zařízení a požadavků na proces. Upřímně doufáme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Povlak karbidu tantalu (TAC) na mikroskopickém průřezu：

Fyzikální vlastnosti povlaku TAC：

To polovodič CVD TAC Coating Crucible Shops ：