Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní produktové nabídky patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor se zaměřuje na to, aby se stal inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouVodicí kroužek potažený TaC, Třílistý vodicí kroužek potažený CVD TaC, Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC, Planetární epitaxní susceptor SiC povlak CVD TaC, Povlakový kroužek z karbidu tantalu, Porézní grafit potažený karbidem tantalu, Rotační susceptor povlaku TaC, Kroužek z karbidu tantalu, TaC povlaková rotační deska, Susceptor destičky potažený TaC, Deflektorový kroužek potažený TaC, Kryt povlaku CVD TaC, Sklíčidlo potažené TaCatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

●Teplotní stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnost vůči tepelným zásobám

●Silná přilnavost ke grafitu

●Konformní pokrytí povlakem

● Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

●Nosič oplatek

● Indukční topný susceptor

● Odporové topné těleso

●Satelitní disk

●Sprchová hlavice

●Vodící kroužek

●LED Epi přijímač

●Vstřikovací tryska

●Maskovací kroužek

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC
Deska potažená TaC TaC povlaková rotační deska Přijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

Povlakový kroužek TaC

Potahový kroužek TAC je vysoce výkonná složka určená pro použití v polovodičových procesech, vetek Semiconductor TAC Coating Ring má vysokou tepelnou stabilitu, odolnost vůči chemické korozi a vynikající mechanickou sílu a je speciálně používána k držení a podpoře Sic Wrafers během leptacího procesu, kde je přesná kontrola a trvanlivost nezbytná pro dosažení vysoce kvalitních destiček. Těšíme se na vaši další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

TAC Coating Crucible

Jako profesionální dodavatel a výrobce TAC Coating a výrobce v Číně hraje vetek Semiconductor's TAC Coating Crucible Crucible Crucible ireplacteable role v procesu růstu s jediným krystalem polovodičů s jeho vynikající tepelnou vodivostí, vynikající chemickou stabilitou a zvýšenou odolnost proti korozi. Vítejte své další dotazy.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Vodicí kroužek potažený karbidem tantalu

Jako přední čínský dodavatel a výrobce vodicích kroužků TaC povlaku je vodicí kroužek potažený karbidem tantalu VeTek Semiconductor důležitou součástí používanou k vedení a optimalizaci toku reaktivních plynů v metodě PVT (Physical Vapor Transport). Podporuje rovnoměrné ukládání monokrystalů SiC v růstové zóně úpravou distribuce a rychlosti proudění plynu. VeTek Semiconductor je předním výrobcem a dodavatelem vodících kroužků povlaku TaC v Číně a dokonce i ve světě a těšíme se na vaši konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Porézní grafit potažený tantalum

Porézní grafit potažený tantalum je nepostradatelným produktem v procesu zpracování polovodiče, zejména v procesu růstu krystalů SIC. Po nepřetržitých investicích do výzkumu a vývoje a technologií získala vetetek Semiconductor's TAC potažená kvalita porézního grafitového produktu vysokou chválu od evropských a amerických zákazníků. Vítejte na vaší další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Planetární epitaxní susceptor SiC povlak CVD TaC

Planetární epitaxní susceptor SiC povlakem CVD TaC je jednou z hlavních součástí planetárního reaktoru MOCVD. Prostřednictvím CVD TaC povlaku planetárního epitaxního susceptoru SiC se velký disk obíhá a malý disk otáčí a model horizontálního toku je rozšířen na vícečipové stroje, takže má jak vysoce kvalitní řízení rovnoměrnosti epitaxní vlnové délky, tak optimalizaci defektů -čipové stroje a výhody výrobních nákladů u vícečipových strojů. VeTek Semiconductor může zákazníkům poskytnout vysoce přizpůsobený planetární epitaxní susceptor SiC povlakem CVD TaC. Pokud si také chcete vyrobit planetární MOCVD pec jako Aixtron, přijďte k nám!

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

TAC potažený kroužek

Vetetek Semiconductor se jako přední výrobce a dodavatel výrobků TAC Coated Ring v Číně zaměřuje na výzkum a vývoj a výrobu různých výrobků TAC Coating. Jako hlavní zákazníci produktů TAC Coating, evropští a američtí výrobci dali našim nátěrovým výrobkům velkou chválu. Vítejte na vaší další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Povlak z karbidu tantalu

Klíčové vlastnosti:

Aplikace:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Data EDX povlaku TaC：

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Povlakový kroužek TaC

TAC Coating Crucible

Vodicí kroužek potažený karbidem tantalu

Porézní grafit potažený tantalum

Planetární epitaxní susceptor SiC povlak CVD TaC

TAC potažený kroužek

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa