Jak vybrat grafy MOCVD Graphite?

Otázka 1: Co je to grafit MOCVD a proč je to tak důležité pro epitaxiální proces?

Grafitová deska pro depozice kovo-organické chemické páry (MOCVD), známá také jako Graphitová zásobník MOCVD nebo Graphitová sasceptor MOCVD, je vysoce čistí složkou používanou k fixaci polovodičových oplatků během epitaxiálního růstu. V epitaxiálním procesu působí jako topný prvek a zajišťuje jednotné rozdělení teploty, které hraje nenahraditelnou roli při ukládání tenkých filmů v aplikacích, jako jsou pokročilá polovodičová zařízení, výroba LED a solární buňky.

Grafitový zásobník vydrží extrémní teploty (až do 1800 ° C) a korozivní plynové prostředí, což z něj činí nepostradatelný materiál pro vysokoteplotní systémy odolné proti korozi. Jeho výkon přímo ovlivňuje konzistenci procesu a výnos oplatky.

Otázka 2: Které vlastnosti materiálu by měly být upřednostňovány při výběru gradů grafitu MOCVD?

Výběr správné grafitové desky vyžaduje vyhodnocení jejích fyzikálních a chemických vlastností:

● Vysoká čistota (více než 99,999%):

Obvykle mohou nečistoty, jako jsou kovy nebo popel, kontaminovat epitaxiální proces. Výběr dodavatele susceptoru s vysokou čistotou, jako je veteksemicon, zajišťuje minimální vady v polovodičové epilayeru.

●  Vynikající tepelná stabilita:

Během skutečného zpracování musí být grafitové destičky schopny odolat určitým tepelným šokům a udržovat strukturální integritu při rychlých teplotních cyklech. Grafit veteKsemicon s vysokou hustotou zajišťuje jednotné rozdělení tepla, což je rozhodující pro jednotný růst filmu.

●  Vynikající odolnost proti korozi:

V procesním prostředí MOCVD je grafit obecně vystaven korozivním plynům (např. Amoniak, vodík). Grafitové destičky MOCVD odolné proti korozi odolné vůči korozi s jemnozrnnou strukturou minimalizují korozi a prodlužují životnost.

●  Vysoce výkonná mechanická pevnost:

V epitaxiálním procesu musí grafitové zásobníky MOCVD podporovat více oplatků bez deformace. Podle statistik Veteksemicon ve skutečném zpracování musí být ohybová síla grafitové desky ≥ 50 MPa, aby se zabránilo praskání zásobníku.

Q3: Jak ovlivňuje scénář aplikace výběr gradů grafitu MOCVD?

Různé procesy MOCVD vyžadují návrhy grafitových desek na míru:

●  Epitaxiální růst LED/fotoniky:

Ultra hladivé grafitové destičky MOCVD se používají v procesu epitaxy ke snížení tvorby částic a zajištění vrstev bez vad.

Například grafitové destičky veteksemicon mocvd (nebo grafitových desek veteksemicon pro MOCVD) jsou určeny pro GAN a GaAS epitaxy a poskytují optimalizované tepelné řízení.

●  Výroba napájecí polovodiče:

V kombinaci s experimentálními statistikami Semikera Semiconductor jsou destičky se zvýšenou oxidační odolností obecně preferovány pro procesy karbidu křemíku (SIC) nebo gallia (GAN).

●  Vysoce výkonná výroba:

Multi-wafer zásobníky vyžadují přesné zpracování, aby bylo možné vyrovnat návrh reaktoru. Přizpůsobitelné misky Graphite MOCVD od spolehlivého dodavatele Semikera Semiconductor mohou odpovídat specifickým konfiguracím nástrojů.

Q4: Jaké jsou klíčové úvahy pro nalezení spolehlivého dodavatele grafitových desek MOCVD?

●  Certifikace a testování:

Ověřte, že dodavatel poskytuje certifikaci materiálu (např. Zpráva o čistotě, test hustoty) a poskytuje úpravu povrchu následného zpracování (např. Potahování ke snížení porozity). Jako přední čínský polovodičový povlak a výrobce zařízení pro epitaxiální procesní zařízení byla vládními úřady certifikována grafitová destičky veteksemicon mocvd pro přísné omezení experimentů a výsledky testů čistoty a hustoty jejích produktů jsou daleko před jejími vrstevníky.

●  Schopnosti přizpůsobení:

Nejlepší dodavatelé grafitového susceptoru s vysokým obsahem čistoty by měli přizpůsobit velikost, vzor díry a povlak tak, aby splňovali vaše požadavky na reaktor. Jak Veteksemicon, tak Semikera Semiconductor mají schopnosti přizpůsobení souvisejících produktů a technologií a jsou plně schopny uspokojit vaše různé přizpůsobené potřeby.

●  Životnost a nákladová efektivita:

Zatímco levnější grafit může ušetřit počáteční náklady, nižší grafitové destičky povedou k častému náhradě a prostoji, což vážně ovlivňuje normální efektivitu výroby. Výběr grafitových desek veteksemicon a další kvalitní produkty umožní vaší firmě dosáhnout dlouhodobé spolehlivé výroby.

Q5: Jak prodloužit životnost MOCVD Grafitových zásobníků?

●  Zabránit oxidaci: Během cyklů zahřívání/chlazení použijte proplachování inertního plynu.

●  Pravidelně čistit: Použijte neabrazivní metody (jako je suché leptání) k odstranění uložených zbytků.

●  Vyvarujte se mechanického stresu: Během nakládání/vykládání oplatky opatrně zpracovejte zásobník.

Nejlepší rada veteksemicon pro vás:

U grafitových destiček MOCVD, které jsou odolné vůči korozi s vysokou teplotou, dávejte přednost dodavatelům s odbornými znalostmi v polovodičových materiálech.

Zkoušejte vzorky za skutečných podmínek procesu pro ověření výkonu.

Prozkoumejte pokročilé povlaky (jako je povlak SIC, povlak TAC), abyste zvýšili trvanlivost a spolehlivost v extrémním prostředí.

Pro více informací o grafitové desce MOCVD MOCVD klikněte zde.

Pro více informací o grafitové desce TAC Coating MOCVD klikněte zde.