Ohřívač VEECO MOCVD

Ohřívač Veteksemi Veeco MOCVD je vyroben z grafitového materiálu s vysokou čistotou s obsahem nečistot přísně ovládaný pod 5 ppm a potažen ultra vysokou čistotní křemíkový karbid (SIC) s čistotou více než 99,99995% prostřednictvím aproces chemické depozice z plynné fáze (CVD).. Tato kombinace materiálů dává ohřívači řadu klíčových vlastností, které zajišťují jeho vynikající výkon vorganická chemická depozice kovů z plynné fáze (MOCVD)proces.

Jedním z vynikajících rysů topení Veeco MOCVD je jeho mimořádná chemická čistota. Grafitové jádro s vysokým obsahem čistoty výrazně snižuje potenciální zavedení kontaminantů do procesu vysoké teploty a zajišťuje ultračistý proces depozice filmu. TheCVD SIC povlakPoskytuje další ochranu pro topení a vytváří silnou bariéru, která zabrání chemickým reakcím, které mohou poškodit kvalitu filmu. Tato bezkonkurenční čistota je nezbytná pro výrobu vysoce výkonných a spolehlivých polovodičových zařízení.

Zároveň topení vykazuje extrémně vysokou tepelnou stabilitu a účinnost. SIC má vysoký bod tání a vynikající tepelnou vodivost, což umožňuje topení efektivně řídit a provádět teplo. Tím je zajištěno rovnoměrné zahřívání přes substrát, které zase pomáhá dosáhnout jednotné depozice filmu a snižovat defekty způsobené tepelnými gradienty. Taková tepelná účinnost je zvláště důležitá pro přesnou výrobu.

Ohřívač Veeco MOCVD také vyniká v elektrickém výkonu. Jeho grafitové jádro s vysokou čistotou má vynikající elektrickou vodivost, což umožňuje topnému měřítku zvládnout vysoké požadavky na elektrické zatížení. Tento stabilní elektrický výkon umožňuje topnutí udržovat přesnou kontrolu teploty a rychlost depozice za podmínek s vysokým zatížením, což je rozhodující pro zajištění konzistentních podmínek procesu a zlepšení účinnosti výroby polovodičů.

Povrchová úprava ohřívače byla pečlivě optimalizována tak, aby měla vysokou emisivitu substrátu, což výrazně zlepšuje účinnost přenosu tepla sáláním. Schopnost rovnoměrného ohřevu je klíčovým faktorem pro zajištění konzistentní tloušťky a vlastností nanášení filmu. Konstrukce povrchu s vysokou emisivitou také zlepšuje celkovou tepelnou účinnost ohřívače, čímž snižuje spotřebu energie a snižuje provozní náklady.

Pokud jde o životnost, ohřívač VEECO MOCVD společnosti VeTeksemi vykazuje vynikající odolnost proti korozi, oxidaci a mechanickou pevnost. CVD SiC povlak poskytuje pevnou bariéru pro korozivní plyny a chemikálie běžné v procesech MOCVD, čímž prodlužuje životnost zařízení a snižuje potřebu údržby a nákladů na výměnu. Jeho odolnost proti oxidaci zajišťuje, že ohřívač zůstává stabilní při vysokých teplotách bez zhoršení výkonu, což zajišťuje dlouhodobou stabilitu.

Vysoká mechanická pevnost ohřívače MOCVD společnosti VeTeksemi navíc umožňuje odolat fyzikálnímu namáhání generovanému během tepelného cyklování a manipulaci se substrátem. Jeho robustnost snižuje riziko mechanického selhání a zajišťuje spolehlivý provoz zařízení v náročných procesních podmínkách.

Jako pokročilý výrobce a dodavatel ohřívačů VEECO MOCVD nabízí VeTeksemi také řadu vysoce kvalitních ohřívačů, jako je např.Ohřívač povlaku TAC, Křečový povlak z karbidu křemíku grafitového ohřívače, keramický povlak křemíku karbiduatd. VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé a přizpůsobitelné technologie a řešení produktů pro polovodičový průmysl. Upřímně doufáme, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.