keramický povlak křemíku karbidu

To polovodičOhřívač keramického povlaku křemíku je ohřívač navržený pro vysokoteplotní a drsné prostředí. Potahuje vrstvu křemíkového uhlíkového keramického povlaku (SIC) na povrchu topného prvku, aby se vybavení poskytla vynikající odolnost proti teplu, odolnost proti korozi a tepelnou vodivost. 

Keramický povlak z křemíkuse používá hlavně ve vakuovém povlaku (odpařování). Běžně používanými metodami jsou PCD (plazmatické chemické sušení) a PVD (fyzikální depozice páry), které se široce používají při výrobě polovodičů a dalších vysoce poptádových průmyslových aplikacích.

V kombinaci s vysoce výkonným konstrukcí povlaku keramického povlaku křemíku, ohřívače keramického povlaku,,Může poskytnout vynikající roztok vytápění pro procesy s vysokou teplotou.

Vynikající tepelná vodivost: Materiál SIC má vynikající tepelnou vodivost a zajišťuje, aby ohřívač mohl dosáhnout jednotného rozdělení tepla v pracovní oblasti a snížit teplotní gradienty.

Poskytněte jednotné rozdělení tepla: Ohřívač křemíkového karbidu keramického povlaku používá vysokou tepelnou vodivost materiálu SIC k dosažení jednotného rozdělení teploty v celé oblasti topení. To je rozhodující pro zajištění jednotného tepelného zpracování polovodičových destiček v různých vysokoteplotních procesech, jako je rychlé tepelné zpracování (RTP), difúze a oxidace, a zabrání defekty produktu způsobené lokálním přehřátím nebo nerovnoměrnou teplotou.

Tolerance s vysokou teplotou: Povlak SIC umožňuje topení odolat extrémně vysokých teplotách, obvykle až do 1600 ° C, vhodné pro různé procesy zpracování vysoké teploty.

Zlepšit odolnost proti teplu: Protože povlak vydrží extrémně vysoké teploty, funguje dobře v procesech, které vyžadují dlouhodobou vysokoteplotní provoz. Například v procesech chemické depozice par (CVD) může keramický povlak křemíku zajistit dlouhodobý stabilní provoz zařízení při vysokých teplotách a udržovat konzistentní výkon zahřívání, čímž se zlepšuje opakovatelnost a spolehlivost procesu.

Odolnost vůči chemické korozi: Povlak SIC má extrémně vysokou odolnost vůči kyselině, alkalii a korozivním plynům a může zůstat stabilní po dlouhou dobu ve složitém prostředí chemické atmosféry a prodlouží životnost zařízení. 

Prodloužení života zařízení: SIC povlak má vynikající odolnost proti oxidaci a odolnost proti korozi a může účinně odolávat chemické erozi a oxidaci při vysokých teplotách. To je velmi kritické v procesu výroby polovodičů, zejména v prostředí, které zpracovává korozivní plyny a chemikálie. Ochranný účinek povlaku může výrazně prodloužit životnost topení a snížit frekvenci výměny a údržby zařízení.

Základní fyzikální vlastnosti keramického povlaku karbidu křemíku:

Vetek Semiconductor Silicon Carbide keramic Coating topné obchody:

Přehled průmyslového řetězce veteku polovodičového čipu: