Ohřívač grafitu horké zóny

VETEK Semiconductor Hot Zone Graphite Ohřívače jsou navrženy tak, aby zvládly extrémní podmínky nalezené v pece s vysokou teplotou. Ohřívače jsou schopny odolat drsným prostředím běžně vyskytujícím se při zpracování vysokých teplot v závislosti na níže uvedených konkrétních funkcích produktu.

● Jednotné rozdělení teploty

Horká zóna grafitového topení je známá svými vynikajícími jednotnými charakteristikami vytápění, díky dokonalé kombinaci vysoce přesného výběru materiálu a technologie přesného zpracování. Taková uniformita zajišťuje hladké rozdělení teploty na celém topném povrchu, což účinně snižuje nerovnoměrné zpracování oplatky v důsledku tepelných gradientů, čímž se zlepšuje výnos produktu a konzistenci výkonu zařízení.

● Vynikající odolnost proti korozi

Grafitový ohřívač pro horkou zónu vykazuje silnou odolnost vůči různým korozivním plynům a chemikáliím, s nimiž se setkávají ve vysokoteplotních polovodičových výrobních procesech. Přirozená inertnost grafitových materiálů umožňuje grafitovým topným topení udržovat dlouhodobou stabilitu v drsném prostředí, což výrazně snižuje riziko kontaminace a prodloužení životnosti zařízení.

● Vynikající výkon antioxidace

Ve srovnání s tradičními grafitovými materiály má horké zóny grafitové ohřívač stále vynikající antioxidační schopnost při vysokých teplotách. Tento rys je zásadní pro zabránění oxidačního zhoršení povrchu topení během zpracování s vysokou teplotou a zabrání vytváření kontaminace částic ve zpracovatelské komoře, což zajišťuje pokračující efektivní provoz zařízení.

● Ultra vysoká chemická čistota

Po přísném zpracování náš grafitový ohřívač dosáhl extrémně vysoké úrovně chemické čistoty, což účinně zabránilo zavedení škodlivých nečistot do prostředí pro zpracování polovodiče. Tato čistota je rozhodující pro ochranu integrity přesných polovodičových materiálů a výrobních zařízení, která splňují očekávané elektrické a optické vlastnosti.

● Vysoká mechanická pevnost a stabilita

Horké zóny veteKsemicon Graphite topné horké zóny má vynikající mechanickou pevnost a rozměrovou stabilitu, což udržuje strukturální integritu i za vysokoteplotních provozních podmínek. Ať už čelí častým tepelným cyklům nebo silnému mechanickému napětí, grafitové ohřívače pro horkou zónu udržují svou robustnost a poskytují pevnou a spolehlivou podporu pro drsné prostředí pro zpracování polovodičů.

Kromě toho veteksemicon také nabízí řadu vlastních velikostí a konfigurací grafitových topení, aby vyhovovaly potřebám různých procesu výroby polovodičů. Upřímně doufáme, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.