Křemíkový karbid destička Chuck

Chuck vetetek polovodičové křemíkové karbidy Chuck používá vynikající vlastnosti materiálů karbidu křemíku k splnění přísných požadavků na výrobu polovodičů, zejména při zpracování polovodičů, které vyžaduje extrémně vysokou přesnost a spolehlivost.

V procesu zpracování polovodiče,Křemíkový karbidmá vynikající odolnost proti vysoké teplotě (může fungovat stabilně při až 1400 ° C), nízká vodivost (SIC má relativně nízkou vodivost, obvykle 10^^-3S/M) a nízký koeficient tepelné roztažnosti (asi 4,0 × 10^^-6/° C), což je nezbytný a důležitý materiál, zejména vhodný pro výrobu upínače karbidu křemíku.

BěhemProces epitaxiálního růstu, tenká vrstva polovodičového materiálu je uložena na substrátu, což vyžaduje absolutní stabilitu z oplatky, aby byla zajištěna jednotné a vysoce kvalitní vrstvy depozice filmu. Vakuové sklíčivo SIC toho dosáhne tím, že vytvoří pevný a konzistentní vakuový držení, aby se zabránilo jakémukoli pohybu nebo deformaci oplatky.

Chuck z křemíkového karbidu také nabízí vynikající odolnost vůči tepelnému šoku. Rychlé změny teploty jsou běžné při výrobě polovodičů a materiály, které nemohou odolat těmto fluktuacím, mohou prasknout, ohýbat nebo selhat. Karbid z křemíku má nízký koeficient tepelné roztažnosti a může udržovat svůj tvar a funkci i při drastických změnách teploty, což zajišťuje, že oplatka zůstane bezpečná během procesu epitaxie bez pohybu nebo nesprávného vyrovnání.

Navícproces epitaxyčasto zahrnuje reaktivní plyny a jiné korozivní chemikálie. Chemická inertnost sklíčidla SIC zajišťuje, že není ovlivněna těmito drsnými prostředími, udržuje jeho výkon a prodlužuje jeho životnost. Tato chemická trvanlivost nejen snižuje frekvenci náhrady upínače oplatky, ale také zajišťuje konzistentní výkon produktu v více výrobních cyklech, což pomáhá zlepšit celkovou účinnost a nákladovou efektivitu procesu výroby polovodičů.

Vetek Semiconductor je předním výrobcem a dodavatelem produktů Chuck z karbidu Silicon Carbide v Číně. Můžeme poskytnout různé typy produktů Chuck, jako napříkladPorézní sic keramický sklíčidlo, Porézní vakuové sklíčivo, Porézní keramické vakuové sklíčivoaTAC potažené sklíčidloa atd. Vetnek Semiconductor se zavázal poskytovat pokročilé technologické a produktové řešení pro polovodičový průmysl. Upřímně doufáme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

SEM data z CVDStruktura filmové krystaly sic：

VeteK polovodičový křemíkový karbid destička Chuck Shops：