TAC potažený grafitový vodicí kroužek

Grafitový kruh potažený TAC (Tantalum Carbide) je kritickou složkou používanou ve výrobě polovodičů, konkrétně v procesech, jako je epitaxiální depozice a leptání v plazmě. Tyto kroužky jsou navrženy tak, aby bezpečně držely a umístily křemíkové oplatky, což zajišťuje přesné zarovnání a stabilitu během vysokoteplotních a drsných chemických prostředí. Naše vodicí kroužky jsou navrženy tak, aby splňovaly přísné požadavky moderního polovodičového výroby, což pomáhá zlepšit výnosy procesu a kvalitu oplatky.

Složení materiálu a fyzikální vlastnosti

Jádro našeho tac potaženého grafitového vodicího kroužku je vysoce čistý grafitový prsten, který je potažen vrstvou karbidu tantalu (TAC).

Grafitový substrát:

Grafit poskytuje několik klíčových výhod. Má vynikající tepelnou stabilitu a odolává deformaci při vysokých teplotách běžných při zpracování polovodičů. Jeho lehká příroda minimalizuje tepelnou hmotu a umožňuje rychlé zahřívání a chlazení. Grafit s vysokým obsazením také zabraňuje kontaminaci procesní komory.

CVD TAC Coating:

Klíčem k vynikajícímu výkonu prstence je tantalum karbidový povlak. TAC je extrémně tvrdý keramický materiál, který nabízí výjimečný odolnost proti opotřebení a chemickou inertnost. Chrání základní grafit před agresivní plazmou a korozivními plyny, což výrazně prodlouží životnost prstence. Tento povlak také zabraňuje uvolňování částic, což je zásadní pro udržení čistého procesního prostředí a prevenci vad na povrchu oplatky.

Role vodicích prstenů při zpracování oplatky

Náš vodicí kroužek potaženého TAC hraje zásadní roli při zajišťování kvality a efektivity výroby polovodičů.

● Zarovnání a stabilita oplatky: Během epitaxiálního růstu nebo leptání drží vodicí kroužek oplatku v přesné poloze. To zabraňuje posunu oplatky, což je nezbytné pro rovnoměrnou depozici vrstvy a přesný přenos vzorů na celém povrchu oplatky.

● Termální správa: Tepelné vlastnosti grafitového a tantalového karbidu umožňují efektivní distribuci a řízení tepla. To je rozhodující pro udržení jednotného teplotního profilu přes oplatku, který je nezbytný pro konzistentní tloušťku filmu a vlastnosti materiálu.

● Kontrola kontaminace: Materiály s vysokou čistotou a odolný nátěr TAC minimalizují tvorbu a odložení částic. To snižuje riziko kontaminace a defektů oplatky, což vede k vyššímu výnosu a spolehlivosti zařízení.

● Životnost prodloužená komponenty: Robustní povlak karbidu tantalu poskytuje vynikající odolnost vůči erozi v plazmě a chemickému útoku. To rozšiřuje provozní životnost vodicího kroužku, sníží prostoje údržby a sníží celkové náklady na vlastnictví.