Deska podpůrné desky s pevnem

Vetek Semiconductor je výrobce a dodavatel Číny, který vyrábí hlavně CVD TAC Coating Susceptors, vstupní prsten, oplatka Chunck, držák TAC potaženého, ​​podpůrný deska s potažením TAC s mnohaletými zkušenostmi. Doufám, že s vámi buduje obchodní vztah.

TAC keramika má bod tání až 3880 ℃, vysokou tvrdost (mohs tvrdost 9 ~ 10), velká tepelná vodivost (22 W · m^-1· K.⁻¹), velká ohybová síla (340 ~ 400MPA) a malý koeficient tepelné roztažení (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹) a vykazují vynikající termochemickou stabilitu a vynikající fyzikální vlastnosti. Má dobrou chemickou a mechanickou kompatibilitu s grafitovými a c/c kompozitními materiály, takže povlak TAC se široce používá při letecké tepelné ochraně, růstu s jedním krystalem a epitaxiální reaktory, jako je Aixtron, LPE EPI reaktor v polovodičovém průmyslu. 

TaC coated graphite has better chemical corrosion resistance than bare stone ink or SiC coated graphite, can be used stably at 2200° high temperature, does not react with many metal elements, is the third generation of semiconductor single crystal growth, epitaxy and wafer etching scene of the best performance coating, can significantly improve the process of temperature and impurity control, Preparation of high quality silicon carbide wafers and related epitaxial oplatky. Obzvláště je vhodná pro pěstování mocvd zařízení GAN nebo ALN v zařízení MOCVD a sic mono krystalické v zařízení PVT a kvalita pěstovaného krystalu se zjevně zlepšuje.