TAC Coating Subser

TAC potažený vtetek Semiconductor aTAC potaženýkroužekPracujte společně v reaktoru růstu LPE křemíku karbidu:

● Odolnost proti vysoké teplotě:TAC povlakSusceptor má vynikající odolnost proti teplotě, je schopen odolat extrémních teplotách až do 1500 ° C vLPE reaktor. Tím je zajištěno, že zařízení a komponenty se během dlouhodobého provozu nerozšiřují ani poškozují.

● Chemická stabilita: Susceptor TAC Coating funguje výjimečně dobře v korozivním růstovém prostředí křemíkového karbidu a účinně chrání složky reaktoru před korozivním chemickým útokem, čímž se prodlužuje jejich životnost.

● Tepelná stabilita: Susceptor TAC Coating má dobrou tepelnou stabilitu, udržuje morfologii povrchu a drsnost, aby byla zajištěna uniformita teplotního pole v reaktoru, což je prospěšné pro vysoce kvalitní růst epitaxiálních vrstev křemíku.

● Anti-kontaminace: Hladký povrch potažený TAC a výkonnost TPD (teplota programovaná desorpce) může minimalizovat akumulaci a adsorpci částic a nečistot v reaktoru, což zabraňuje kontaminaci epitaxiálních vrstev.

Stručně řečeno, susceptor a prsten TAC hrají kritickou ochrannou roli v epitaxiálním růstovém reaktoru LPE křemíku karbidu, což zajišťuje dlouhodobý stabilní provoz zařízení a vysoce kvalitní růst epitaxiálních vrstev.