produkty
SIC Pádlo
  • SIC PádloSIC Pádlo

SIC Pádlo

Konzolové pádlo SiC společnosti VeTek Semiconductor se používá v pecích pro tepelné zpracování pro manipulaci a podpírání člunů s plátkem. Vysoká teplotní stabilita a vysoká tepelná vodivost SiC materiálu zajišťuje vysokou účinnost a spolehlivost v procesu zpracování polovodičů. Jsme odhodláni poskytovat vysoce kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Jste vítáni, abyste přišli do naší továrny Vetek Semiconductor a koupili si nejnovější prodejní, nízkou cenu a vysoce kvalitní konzolové pádlo SiC. Těšíme se na spolupráci s vámi.


Vlastnosti Cantilever Paddle SiC společnosti VeTek Semiconductor:

Stabilita s vysokou teplotou: Schopnost udržovat svůj tvar a strukturu při vysokých teplotách, vhodné pro procesy zpracování vysokých teplot.

Odolnost proti korozi: Vynikající odolnost proti korozi na různé chemikálie a plyny.

Vysoká pevnost a rigidita: poskytuje spolehlivou podporu, aby se zabránilo deformaci a poškození.


Výhody konzolového pádla SiC společnosti VeTek Semiconductor:

Vysoká přesnost: Vysoká přesnost zpracování zajišťuje stabilní provoz v automatizovaném zařízení.

Nízká kontaminace: Vysoce čistý SiC materiál snižuje riziko kontaminace, což je zvláště důležité pro ultračisté výrobní prostředí.

Vysoké mechanické vlastnosti: Schopnost odolat drsnému pracovnímu prostředí s vysokými teplotami a vysokými tlaky.

Specifické aplikace Pádlového pádlového páka SIC a jeho principu jeho aplikací

Manipulace s křemíkovým plátkem při výrobě polovodičů:

Pádlo SiC se používá hlavně k manipulaci a podpoře křemíkových oplatků během výroby polovodičů. Tyto procesy obvykle zahrnují čištění, leptání, povlak a tepelné zpracování. Princip aplikace:

Manipulace s křemíkovými oplatky: Pádlo SiC je navrženo tak, aby bezpečně upínalo a pohybovalo si křemíkové oplatky. Během procesů s vysokou teplotou a chemickém zpracování vysoká tvrdost a síla materiálu sic zajišťuje, že křemíkový oplatk nebude poškozen ani deformován.

Proces chemické depozice z plynné fáze (CVD):

V procesu CVD se k přenášení křemíkových destiček používá pádlo SIC, aby bylo možné na jejich povrchy ukládat tenké filmy. Princip aplikace:

V procesu CVD se SiC Cantilever Paddle používá k fixaci křemíkového plátku v reakční komoře a plynný prekurzor se při vysoké teplotě rozkládá a vytváří tenký film na povrchu křemíkového plátku. Odolnost SiC proti chemické korozi zajišťuje stabilní provoz při vysokých teplotách a chemickém prostředí.


Parametr produktu SiC Cantilever Paddle

Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku
Vlastnictví Typická hodnota
Pracovní teplota (°C) 1600 ° C (s kyslíkem), 1700 ° C (redukční prostředí)
obsah SiC > 99,96 %
Volný obsah Si <0,1%
Hromadná hustota 2,60-2,70 g/cm3
Zjevná pórovitost < 16 %
Pevnost v tlaku > 600 MPa
Pevnost v ohybu za studena 80-90 MPa (20 °C)
Horká ohybová síla 90-100 MPa (1400 ° C)
Tepelná roztažnost @1500°C 4,70x10-6/°C
Tepelná vodivost @1200 ° C. 23 w/m • k
Elastický modul 240 GPA
Odolnost tepelného nárazu Mimořádně dobré


Výrobní závody:

VeTek Semiconductor Production Shop


Přehled průmyslového řetězce epitaxe polovodičových čipů:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Konzolové pádlo SiC
Odeslat dotaz
Kontaktní informace
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Používáme cookies, abychom vám nabídli lepší zážitek z prohlížení, analyzovali návštěvnost webu a přizpůsobili obsah. Používáním tohoto webu souhlasíte s naším používáním souborů cookie. Zásady ochrany osobních údajů
OdmítnoutPřijmout