produkty
ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE
  • ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDEARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE
  • ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDEARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE

ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE

Naše robotická rameno křemíku (SIC) je navržena pro vysoce výkonnou manipulaci s oplatkou v pokročilé výrobě polovodičů. Tato robotická rameno, vyrobená z vysoce čistého křemíkového karbidu, nabízí výjimečnou odolnost vůči vysokým teplotám, korozi v plazmě a chemický útok, což zajišťuje spolehlivý provoz v náročném prostředí čistého pokoje. Jeho výjimečná mechanická pevnost a rozměrová stabilita umožňuje přesné manipulaci s oplatkou a zároveň minimalizovat rizika kontaminace, což z něj činí ideální volbu pro aplikace MOCVD, epitaxy, implantaci iontů a další kritické aplikace pro manipulaci s oplatkou. Vítáme vaše dotazy.

Robotická rameno veteKsemicon's Silicon Carbide je špičkovým polovodičovým zpracováním navrženým speciálně pro drsné průmyslové prostředí. S využitím pokročilé technologie materiálu karbidu silikonu s vysokou čistotou prokazuje výjimečnou stabilitu a trvanlivost ve vysokých teplotách, korozivních prostředích a ultra vysokých vakuových podmínkách. Jako klíčová součást v procesech manipulace s oplatkou, leptání a depozice naše robotická rameno výrazně zvyšuje produktivitu a snižuje náklady na údržbu.


Ⅰ. Technické parametry


Projekt
Parametr
Materiál
Vysoká čistota sic
Tvrdost povrchu
2800-3200 HV
Nakládací kapacita
3 kg/5 kg/10 kg (různé dostupné specifikace)
Tepelná vodivost
Tepelná vodivost
Odpor
10^3-10^5 Ω; cm
Platné prostředí
Vysoká teplota, plazma, korozivní plyn, ultra vysoký vakuum
Opakujte přesnost umístění
± 0,02 mm

Ⅱ. Výhody jádra veteKsemicon Silicon Carbide Robot ARM


1. Extrémní tolerance prostředí

Naše robotické rameno používá jedinečně formulovaný SIC povlak, který podléhá více procesům na depozici s vysokou teplotou, což mu umožňuje udržovat strukturální integritu při trvalých teplotách 1500 ° C a účinně odolává korozi z bombardování plazmy a silné kyseliny a alkalické prostředí. Toto zásadně se zabývá body bolesti tradičních materiálů, které jsou náchylné ke stárnutí a mají krátkou životnost za extrémních pracovních podmínek.


2. vynikající mechanické vlastnosti

Přijetím kompozitní struktury grafitového substrátu a sic povlaku jsme dosáhli tuhosti daleko přesahující kovové materiály a zajistili, že paže je extrémně lehká. Tento design zajišťuje, že deformace robota ramene je extrémně malá během vysokorychlostního recipročního pohybu, účinně potlačuje chvění, čímž pevně řídí přesnost polohování opakování v rámci ± 0,02 mm, což zajišťuje bezpečný přenos přesných destiček.


3. ultra vysoká čistota

Chápeme, že kontaminace částic je zabijákem výnosu číslo jedna. Každá rameno robota proto podstoupí přesné leštění a specializované povrchové úpravy, což má za následek drsnost povrchu RA menší než 0,1 μm. Potahování se bezpečně drží a brání jakémukoli riziku loupání. Naše výrobky jsou 100% testované na čistotu a plně splňují požadavky na ultra vysokou čistotu a jsou připraveny k použití ve nejmodernějších výrobních linkách.


4. Dlouhá životnost

Díky inherentní tvrdosti SIC ve výši 3000 HV a vynikající odpor opotřebení zažívá naše robotické zbraně minimální degradaci výkonu i po desítkách tisíc pohybových cyklů. Jejich životnost je několikrát životnost běžných keramických nebo hliníkových slitinových složek, což výrazně snižuje prostoje pro výměnu a údržbu, což našim zákazníkům poskytuje významnou celkovou efektivitu nákladů.


Ⅲ. Hlavní pole aplikací


Směr aplikace
Typický scénář
SEmiconductor Manufacturing
Manipulace s oplatky, přenos a umístění
LED produkce
Komponenty reakční komory MOCVD
Fotovoltaický průmysl
PECVD, proces difúze
Aerospace
Automatizované zpracování v testovacích prostředích s vysokou teplotou

Ekologický řetězec veteksemicon silikonový karbid robot „ověření ekologického řetězce pokrývá suroviny pro výrobu, prošel mezinárodní standardní certifikací a má řadu patentovaných technologií, aby zajistil její spolehlivost a udržitelnost v polovodičových a nových energetických oblastech. Vítejte a konzultujte nás kdykoli.


Veteksemicon products shop

Hot Tags: ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE
Odeslat dotaz
Kontaktní informace
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Používáme cookies, abychom vám nabídli lepší zážitek z prohlížení, analyzovali návštěvnost webu a přizpůsobili obsah. Používáním tohoto webu souhlasíte s naším používáním souborů cookie.Zásady ochrany osobních údajů