produkty
ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE
  • ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDEARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE
  • ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDEARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE

ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE

Naše robotická rameno křemíku (SIC) je navržena pro vysoce výkonnou manipulaci s oplatkou v pokročilé výrobě polovodičů. Tato robotická rameno, vyrobená z vysoce čistého křemíkového karbidu, nabízí výjimečnou odolnost vůči vysokým teplotám, korozi v plazmě a chemický útok, což zajišťuje spolehlivý provoz v náročném prostředí čistého pokoje. Jeho výjimečná mechanická pevnost a rozměrová stabilita umožňuje přesné manipulaci s oplatkou a zároveň minimalizovat rizika kontaminace, což z něj činí ideální volbu pro aplikace MOCVD, epitaxy, implantaci iontů a další kritické aplikace pro manipulaci s oplatkou. Vítáme vaše dotazy.

Robotická rameno veteKsemicon's Silicon Carbide je špičkovým polovodičovým zpracováním navrženým speciálně pro drsné průmyslové prostředí. S využitím pokročilé technologie materiálu karbidu silikonu s vysokou čistotou prokazuje výjimečnou stabilitu a trvanlivost ve vysokých teplotách, korozivních prostředích a ultra vysokých vakuových podmínkách. Jako klíčová součást v procesech manipulace s oplatkou, leptání a depozice naše robotická rameno výrazně zvyšuje produktivitu a snižuje náklady na údržbu.


Ⅰ. Technické parametry


Projekt
Parametr
Materiál
Vysoká čistota sic
Tvrdost povrchu
2800-3200 HV
Nakládací kapacita
3 kg/5 kg/10 kg (různé dostupné specifikace)
Tepelná vodivost
Tepelná vodivost
Odpor
10^3-10^5 Ω; cm
Platné prostředí
Vysoká teplota, plazma, korozivní plyn, ultra vysoký vakuum
Opakujte přesnost umístění
± 0,02 mm

Ⅱ. Výhody jádra veteKsemicon Silicon Carbide Robot ARM


1. Extrémní tolerance prostředí

Naše robotické rameno používá jedinečně formulovaný SIC povlak, který podléhá více procesům na depozici s vysokou teplotou, což mu umožňuje udržovat strukturální integritu při trvalých teplotách 1500 ° C a účinně odolává korozi z bombardování plazmy a silné kyseliny a alkalické prostředí. Toto zásadně se zabývá body bolesti tradičních materiálů, které jsou náchylné ke stárnutí a mají krátkou životnost za extrémních pracovních podmínek.


2. vynikající mechanické vlastnosti

Přijetím kompozitní struktury grafitového substrátu a sic povlaku jsme dosáhli tuhosti daleko přesahující kovové materiály a zajistili, že paže je extrémně lehká. Tento design zajišťuje, že deformace robota ramene je extrémně malá během vysokorychlostního recipročního pohybu, účinně potlačuje chvění, čímž pevně řídí přesnost polohování opakování v rámci ± 0,02 mm, což zajišťuje bezpečný přenos přesných destiček.


3. ultra vysoká čistota

Chápeme, že kontaminace částic je zabijákem výnosu číslo jedna. Každá rameno robota proto podstoupí přesné leštění a specializované povrchové úpravy, což má za následek drsnost povrchu RA menší než 0,1 μm. Potahování se bezpečně drží a brání jakémukoli riziku loupání. Naše výrobky jsou 100% testované na čistotu a plně splňují požadavky na ultra vysokou čistotu a jsou připraveny k použití ve nejmodernějších výrobních linkách.


4. Dlouhá životnost

Díky inherentní tvrdosti SIC ve výši 3000 HV a vynikající odpor opotřebení zažívá naše robotické zbraně minimální degradaci výkonu i po desítkách tisíc pohybových cyklů. Jejich životnost je několikrát životnost běžných keramických nebo hliníkových slitinových složek, což výrazně snižuje prostoje pro výměnu a údržbu, což našim zákazníkům poskytuje významnou celkovou efektivitu nákladů.


Ⅲ. Hlavní pole aplikací


Směr aplikace
Typický scénář
SEmiconductor Manufacturing
Manipulace s oplatky, přenos a umístění
LED produkce
Komponenty reakční komory MOCVD
Fotovoltaický průmysl
PECVD, proces difúze
Aerospace
Automatizované zpracování v testovacích prostředích s vysokou teplotou

Ekologický řetězec veteksemicon silikonový karbid robot „ověření ekologického řetězce pokrývá suroviny pro výrobu, prošel mezinárodní standardní certifikací a má řadu patentovaných technologií, aby zajistil její spolehlivost a udržitelnost v polovodičových a nových energetických oblastech. Vítejte a konzultujte nás kdykoli.


Veteksemicon products shop

Hot Tags: ARM KARBIDE KARBIDE KARBIDE
Odeslat dotaz
Kontaktní informace
Máte-li dotazy ohledně povlaku karbidu křemíku, povlaku karbidu tantalu, speciálního grafitu nebo ceníku, zanechte nám prosím svůj e-mail a my se vám do 24 hodin ozveme.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept