QR kód
 
                    O nás
produkty
Kontaktujte nás
 - Telefon
 - Fax- +86-579-87223657 
 - E-mailem
 - Adresa- Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Čína 
 
            VeTek Semiconductor je váš inovativní partner v oblasti zpracování polovodičů. S naším rozsáhlým portfoliem kombinací materiálů polovodičové keramiky z karbidu křemíku, možnostmi výroby součástí a službami aplikačního inženýrství vám můžeme pomoci překonat významné výzvy. Technická technická keramika z karbidu křemíku je široce používána v polovodičovém průmyslu díky jejich výjimečnému materiálovému výkonu. Vysoce čistá keramika z karbidu křemíku VeTek Semiconductor se často používá během celého cyklu výroby a zpracování polovodičů.
		
	
VeTek Semiconductor poskytuje keramické komponenty speciálně navržené pro dávkovou difúzi a požadavky LPCVD, včetně:
• Přepážky a držáky
• Vstřikovače
• Vložky a procesní trubky
• Konzolová pádla z karbidu křemíku
• Oplatkové čluny a podstavce
		
	
		  Konzolové pádlo SiC
 Konzolové pádlo SiC    Procesní trubky SiC
 Procesní trubky SiC    Procesní trubice z karbidu křemíku
 Procesní trubice z karbidu křemíku    SiC vertikální oplatkový člun
 SiC vertikální oplatkový člun    SiC horizontální oplatkový člun
 SiC horizontální oplatkový člun    SiC horizontální čtvercový oplatkový člun
 SiC horizontální čtvercový oplatkový člun    SiC LPCVD oplatkový člun
 SiC LPCVD oplatkový člun    SiC horizontální plátová loď
 SiC horizontální plátová loď    SiC keramický těsnící kroužek
 SiC keramický těsnící kroužek  
	
		
	
Minimalizujte kontaminaci a neplánovanou údržbu pomocí vysoce čistých komponent navržených pro náročné zpracování plazmového leptání, včetně:
Zaostřovací kroužky
Trysky
Štíty
Sprchové hlavice
Okna / víka
Další zakázkové komponenty
				 
 
			
		
	
VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty přizpůsobené pro aplikace vysokoteplotního tepelného zpracování v polovodičovém průmyslu. Tyto aplikace zahrnují RTP, Epi procesy, difúzi, oxidaci a žíhání. Naše technická keramika je navržena tak, aby odolávala teplotním šokům a poskytovala spolehlivý a konzistentní výkon. S komponenty VeTek Semiconductor mohou výrobci polovodičů dosáhnout efektivního a vysoce kvalitního tepelného zpracování, což přispívá k celkovému úspěchu výroby polovodičů.
• Difuzory
• Izolátory
• Susceptory
• Další vlastní tepelné komponenty
				 
 
			
		
	
| Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
| Vlastnictví | Typická hodnota | 
| Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) | 
| Obsah SiC / SiC | > 99,96 % | 
| Obsah Si / Volný Si | < 0,1 % | 
| Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 | 
| Zjevná pórovitost | < 16 % | 
| Pevnost v tlaku | > 600 MPa | 
| Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) | 
| Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) | 
| Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 ± 10-6/°C | 
| Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K | 
| Modul pružnosti | 240 GPa | 
| Odolnost proti tepelným šokům | Mimořádně dobré | 
		
	






 
                    

+86-579-87223657


Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Čína
Copyright © 2024 VeTek Semiconductor Technology Co., Ltd. Všechna práva vyhrazena.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |
