Keramický člun z karbidu křemíku

Výhody použití keramického člunu z karbidu křemíku Veteksemi

● Velmi vysoká teplota odolnost proti 3000 F (1650 ℃）

● Super korozní odolnost vůči kyselinám, rozpouštědlům, soli a organickým látkám, odolné vůči opotřebení  

● Snadné čištění

●  Silná odolnost proti nárazu

●  Slip Free

Výrobní průmysl VeTek Semiconductor typicky zpracovává tyto wafery buď v horizontálním waferovém nosiči, nebo vertikálním nosiči.

●  Horizontální nosič, obvykle se nazývá „loď“, má tři nebo čtyři horizontálně zlikvidované tyče uspořádané v návrhu půlkruhu, přičemž každá tyč má dovnitř v pravidelných intervalech dovnitř. Každá sada drážek definuje vertikální prostor pro přepravu svisle zlikvidovaného oplatky.

● Svislý nosič, typicky nazývaný "vertikální stojan", má tři nebo čtyři svisle umístěné tyče (nebo sloupky) uspořádané v půlkruhovém designu, přičemž každý sloupek má v pravidelných intervalech štěrbiny pro vymezení prostoru pro nesení vodorovně umístěného plátku.

Aby se zajistila geometrická přesnost potřebná v tomto poli, jsou tři nebo čtyři tyče připevněny k horní desce a dolní desce. Části sloupku mezi každým slotem, nazývaným „zuby“, jsou identicky rozloženy, aby podporovaly oplatky v pravidelných intervalech a paralelní se spodní deskou. Celý stojan je poté umístěn do svislé pece pro zpracování oplatků.

Protože oplatka zpracovaná na svislém stojanu zažívá přes obličej menší teplotní gradient (ve srovnání s oplatkou zpracovanou v horizontální lodi), výrobci polovodičů se stále více obracejí na svislé pece. Existuje však nevýhoda k vertikálnímu náplně. Destičky zlikvidované na konvenčním svislém stojanu jsou podporovány pouze na jejich vnějším okraji. Oblasti oplatky spočívající na těchto zubech proto zažívají vyšší stres než zbytek oplatky.

Když teploty v peci překročí asi 1000 °C, tato napětí se často stanou významnými a části monokrystalického plátku se vzájemně pohybují podél krystalografických desek v reakci na toto napětí. Tento jev, nazývaný "skluz", účinně ničí hodnotu polovodičových součástek umístěných v oblasti waferu, kde došlo ke skluzu.

Jako přední dodavatel a výrobce keramických destiček z karbidu křemíku v Číně se VeTek Semiconductor vždy zavázal poskytovat pokročilé technologie a řešení produktů Wafer Boat pro průmysl zpracování polovodičů. Upřímně se těšíme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

To polovodičSilikonový karbid keramická destička lodí Produkční obchody: