Vakuová horkolisová pec pro lepení osiva karbidu křemíku

Technologie spojování semen SiC je jedním z klíčových procesů, které ovlivňujírůst krystalů.VETEK vyvinul specialvakuová horkolisová pecpro spojování semen na základě vlastností tohoto procesu. Pec může účinně redukovat různé defekty vzniklé během procesu spojování zrn, čímž zlepšuje výtěžnost a konečnou kvalitu krystalového ingotu.

Představit

1.Pec se používá pro vázání semen předRůst krystalů SiC

2. Vázané semeno může zůstat pevně připojeno při teplotě 2300 ℃, udržuje 100% adhezi bez vzduchových bublin, s vysokou rovinností, čistým povrchem osiva a bez adsorbovaných nečistot

3. Vyhřívaná deska je přizpůsobena odporovému ohřevu spirálovitého disku ve tvaru, rovnoměrné topné zóně, je úsporná na použití, snadno ovladatelná

4. Spodní část nosné plošiny vybavená snímači síly, přesně zobrazená přítlačná síla na obrobek 

Úvod do funkce

1. Vodou chlazená kovová komora s dvojitou stěnou účinně snižuje vnější povrchovou teplotu tělesa pece, minimalizuje poškození vysokými teplotami a snižuje dopad na životní prostředí.

2. Může dosáhnout automatického zvýšení přítlaku a držení síly, pomalé zatěžovací síly a posunutí lze automaticky ovládat.

3. K dispozici jsou různé konfigurace vakua a podle procesu lze vybrat různé úrovně vakua.

4. Jednotný tlak a přesnost řízení vysoké teploty.

5. Struktura přítlaku využívá přesné mechanické provedení tahu, což zajišťuje přesný a stabilní přítlak, bezpečné použití a šetrnost k životnímu prostředí.

6.Spodní razítko je spojeno s tlačnou tyčí "univerzálním" způsobem. Je zajištěno, že když je obrobek potlačený, povrch razidla je pod adaptivním paralelním s povrchem vyhřívané desky, což zajišťuje, že obrobek nese rovnoměrný přítlak.

7. Spodní razítko má funkci tlumení zátěžového přítlaku, poskytuje hladký a měkký přítlak bez nárazu, čímž se zabrání praskání obrobku.

9. Vyhřívaná deska i raznice přítlačné síly jsou vybaveny tepelně izolačním štítem pro snížení neúčinné ztráty teploty.

Parametr

Funkce

1.Pomalé vakuové čerpání, nastavitelná rychlost vakuového čerpání

2. Velká komora, velký prostor pro upgrade

3. Razítko dolů běží stabilně a funguje automaticky

4. Pomalé odlehčení přítlaku a pomalé zvyšování, rampa přítlaku podle receptury automatické ovládání

5.Přesné naprogramované řízení teploty a přítlaku

6. Parametry vakua, přítlaku a teploty lze volně nastavit tak, aby odpovídaly různým procesům lepení

7. Lepení je zhutněné a bez bublin

8. Míra prasklin je extrémně nízká, téměř žádné praskliny způsobené problémy se zařízením

9. Kompatibilní s vazbou osiva 6-12 palců

10. Max. přítlak: 1,6T

11. Konečné vakuum: 5 Pa (za studena)

12. Rovnoměrnost teploty vyhřívané desky＜±3℃，σ<4（200℃）

13. Kolísání tlaku ：<0,5%