Susceptor hlavně potažený SiC pro LPE PE2061S

Vetek Semiconductor je profesionální čínský sic potažený susceptor proLPE PE2061Svýrobce a dodavatel.

Barelový susceptor VeTeK Semiconductor potažený SiC pro LPE PE2061S je vysoce výkonný produkt vytvořený nanesením jemné vrstvy karbidu křemíku na povrch vysoce čistého izotropního grafitu. Toho je dosaženo prostřednictvím patentu společnosti VeTeK SemiconductorDepozice chemických par (CVD)proces.

Náš SiC Coated Barrel Susceptor pro LPE PE2061S je druh CVD epitaxního depozičního bubnového reaktoru, který je navržen tak, aby poskytoval spolehlivý výkon v extrémních prostředích. Jeho výjimečná přilnavost povlaku, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách a odolnost proti korozi z něj činí vynikající volbu pro použití v náročných podmínkách. Jeho rovnoměrný tepelný profil a laminární proudění plynu navíc zabraňují kontaminaci a zajišťují vysoce kvalitní epitaxní růst.

Design našeho polovodiče ve tvaru hlavyepitaxní reaktoroptimalizuje vzory laminárního proudění plynu a zajišťuje rovnoměrné rozložení tepla. To pomáhá zabránit jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot,zajišťující vysoce kvalitní epitaxní růst na waferových substrátech.

Jsme odhodláni poskytovat našim zákazníkům vysoce kvalitní a cenově výhodné produkty. Náš susceptor hlavně s CVD SiC povlakem nabízí výhodu cenové konkurenceschopnosti při zachování vynikající hustoty pro oba typygrafitový substrátapovlak z karbidu křemíkuposkytující spolehlivou ochranu ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

Data SEM o CVD sic filmové krystalové struktury:

Barelový susceptor potažený SiC pro růst monokrystalů vykazuje velmi vysokou hladkost povrchu.

Minimalizuje rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a

Potahování karbidu křemíku, účinně zlepšuje sílu vazby a zabraňuje praskání a delaminaci.

Jak grafitový substrát, tak povlak z karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající schopnosti distribuce tepla.

Má vysoký bod tání, vysokou teplotuoxidační odolnostaodolnost proti korozi.