Použití pevného křemíkového karbidu

Pevný křemíkový karbid SIC je pokročilý keramický materiál složený z křemíku (SI) a uhlíku (C). Nejedná se o látku, která se široce vyskytuje v přírodě a obvykle vyžaduje syntézu s vysokou teplotou. Díky jedinečné kombinaci fyzikálních a chemických vlastností z něj činí klíčový materiál, který dobře funguje v extrémním prostředí, zejména ve výrobě polovodičů.

Ⅰ. Klíčové fyzikální vlastnosti karbidu pevného křemíku (pevný sic)

▶ Vysoká tvrdost a odolnost proti opotřebení:

SIC má tvrdost Mohs asi 9-9,5, sekundu pouze pro Diamond. To mu dává vynikající odolnost proti poškrábání a opotřebení a funguje dobře v prostředích, která potřebují odolat mechanickému napětí nebo erozi částic.

▶ Vynikající síla a stabilita

1. SIC může udržovat svou mechanickou pevnost a strukturální integritu při extrémně vysokých teplotách (pracující při teplotách až do 1600 ° C nebo dokonce vyšší, v závislosti na typu a čistotě).

2. jeho nízký koeficient tepelné roztažnosti znamená, že má dobrou rozměrovou stabilitu a není náchylný k deformaci nebo praskání, když se teplota drasticky změní.

▶ Vysoká tepelná vodivost:

Na rozdíl od mnoha jiných keramických materiálů má SIC relativně vysokou tepelnou vodivost. To mu umožňuje efektivně provádět a rozptýlit teplo, což je rozhodující pro aplikace, které vyžadují přesnou kontrolu teploty a uniformitu.

Vynikající chemická inertnost a odolnost proti korozi:

SIC vykazuje extrémně silnou odolnost vůči většině silných kyselin, silných základen a korozivních plynů běžně používaných v polovodičových procesech (jako jsou plyny na bázi na bázi fluoru a na bázi chloru v plazmatických prostředích), a to i při vysokých teplotách. To je rozhodující pro zabránění korodování nebo kontaminovaných součástí komory.

▶ Potenciál pro vysokou čistotu:

Extrémně vysoká čistota sic povlaků nebo pevných sic částí lze produkovat prostřednictvím specifických výrobních procesů (jako je depozice chemických párů - CVD). Při výrobě polovodičů čistota materiálu přímo ovlivňuje úroveň kontaminace oplatky a výnos konečného produktu.

▶ Vysoká tuhost (Youngův modul):

SIC má modul vysokého Younga, což znamená, že je velmi těžké a není snadné se deformovat při zatížení. To je velmi důležité pro komponenty, které potřebují udržovat přesný tvar a velikost (jako jsou nosiče oplatky).

▶ Laditelné elektrické vlastnosti:

Ačkoli se často používá jako izolátor nebo polovodič (v závislosti na jeho křišťálové formě a dopingu), jeho vysoký odpor pomáhá v některých aplikacích komponentních aplikací léčit plazmové chování nebo zabránit zbytečnému výboji ARC.

Ⅱ. Specifické aplikace a výhody hotových výrobků z pevného křemíku (Solid SIC) ve výrobě polovodičů

Na základě výše uvedených fyzikálních vlastností je pevná SIC vyráběna do různých přesných komponent a je široce používána ve více klíčových spojeních polovodičových front-end procesů.

1) Pevný nosič destiček SIC (pevný nosník / lodi SIC):

Aplikace:

Používá se k přenášení a přenosu křemíkových destiček ve vysokoteplotních procesech (jako je difúze, oxidace, LPCVD-nízkotlaká chemická depozice par).

Analýza výhod:

1. Vysoká teplota stabilita: Při procesních teplotách přesahujících 1000 ° C se nosiče SIC nezměknou, deformují ani se nehýbají stejně snadno jako křemen a mohou přesně udržovat rozteč oplatky, aby byla zajištěna uniformita procesu.

2. Dlouhá životnost a nízká tvorba částic: Tvrdost a odolnost vůči opotřebení SIC daleko přesahují křemen a není snadné produkovat malé částice pro kontaminování destiček. Jeho životnost je obvykle několikrát nebo dokonce desítky doby, kdy nosiče křemenů snižuje náklady na frekvenci a údržbu.

3. chemická inertnost: Může odolat chemické erozi v procesní atmosféře a snížit kontaminaci oplatky způsobené srážením jeho vlastních materiálů.

4. Tepelná vodivost: Dobrá tepelná vodivost pomáhá dosáhnout rychlého a rovnoměrného vytápění a chlazení nosičů a oplatků, což zvyšuje účinnost procesu a uniformitu teploty.

5. Vysoká čistota: Dopravce SIC s vysokou čistotou mohou být vyrobeny tak, aby splňovaly přísné požadavky pokročilých uzlů pro kontrolu nečistot.

Hodnota uživatele:

Zlepšit stabilitu procesu, zvýšit výnos produktu, snížit prostoje způsobené selháním nebo kontaminací komponenty a z dlouhodobého hlediska snižte celkové náklady na vlastnictví.

2) Pevná sprchová hlavička ve tvaru disku / plynu SIC:

Aplikace:

Nainstalováno v horní části reakční komory zařízení, jako je leptání v plazmě, depozice chemických párů (CVD), depozice atomové vrstvy (ALD) atd., Odpovědná za rovnoměrné distribuce procesů na povrch oplatky.

Analýza výhod:

1. Tolerance v plazmě: Ve vysokoenergetickém, chemicky aktivním plazmatickém prostředí SIC sprchová hlava vykazuje extrémně silnou odolnost vůči bombardování plazmy a chemické korozi, která je mnohem lepší než křemen nebo oxid.

2. uniformita a stabilita: Přesná sprchová hlava SIC může zajistit, aby tok plynu byl rovnoměrně rozložen na celém povrchu oplatky, což je kritické pro uniformitu tloušťky filmu, uniformitu složení nebo rychlosti leptání. Má dobrou dlouhodobou stabilitu a není snadné ji deformovat nebo ucpat.

3. řízení tepelného: Dobrá tepelná vodivost pomáhá udržovat uniformitu teploty na povrchu sprchy, což je rozhodující pro mnoho procesů citlivých na teplo nebo leptání.

4. Nízká kontaminace: Vysoká čistota a chemická setrvačnost snižují kontaminaci vlastních materiálů sprchové hlavy na proces.

Hodnota uživatele:

Významně zlepšit uniformitu a opakovatelnost výsledků procesu, prodloužit životnost sprchové hlavy, zkrátit dobu údržby a problémy s částicí a podporovat pokročilejší a přísnější procesní podmínky.

3) Pevný zaostřovací prsten s pevným sic (pevný prsten na zaostření / okraje pevného sic):

Aplikace:

Používá se hlavně v komoře leptacího zařízení v plazmě (jako je kapacitně vázaná plazmatická CCP nebo indukčně vázaná plazmatická lekta ICP), obvykle umístěná na okraji nosiče oplatky (Chuck), obklopující oplatku. Jeho funkcí je omezit a vést plazmu tak, aby působila rovnoměrněji na povrchu oplatky a zároveň chránila jiné složky komory.

Analýza výhod:

1. Silná odolnost vůči erozi v plazmě: Toto je nejvýznamnější výhoda prstence zaostření SIC. U extrémně agresivních leptajících plazmat (jako jsou chemikálie obsahující fluorin nebo chlor), SIC nosí mnohem pomalejší než křemen, alumina nebo dokonce yttria (oxid yttrium) a má extrémně dlouhou životnost.

2. Udržování kritických rozměrů: Vysoká tvrdost a vysoká rigidita umožňují, aby prsteny zaostřování sic umožnily lépe udržovat svůj přesný tvar a velikost po dlouhou dobu používání, což je rozhodující pro stabilizaci morfologie plazmy a zajištění jednotnosti leptání.

3. Nízká tvorba částic: Vzhledem k odolnosti opotřebení výrazně snižuje částice generované stárnutím složek, čímž se zlepšuje výnos.

4. Vysoká čistota: Vyhněte se zavedení kovu nebo jiných nečistot.

Hodnota uživatele:

Výrazně prodlužují cykly výměny komponent, což výrazně sníží náklady na údržbu a prostoje zařízení; zlepšit stabilitu a opakovatelnost procesů leptání; Snižte vady a zlepšte výnos špičkového výroby čipů.

Ⅲ.Shrnutí

Karbid pevného křemíku se stal jedním z nepostradatelných klíčových materiálů v moderní výrobě polovodičů díky své jedinečné kombinaci fyzikálních vlastností - vysoká tvrdost, vysoký bod tání, vysokou tepelnou vodivost, vynikající chemická stabilita a odolnost proti korozi. Ať už se jedná o nosič pro přenášení oplatků, sprchovou hlavu pro kontrolu distribuce plynu nebo zaostřovací prsten pro vedení plazmy, pevné produkty SIC pomáhají výrobcům čipů vyrovnat se s stále přísnějšími procesními výzvami s jejich vynikajícím výkonem a spolehlivostí, zlepšují účinnost výroby a výnos produktů a tak podporují udržitelný rozvoj celého polovodičového průmyslu.

Jako přední výrobce a dodavatel produktů pevných křemíkových karbidů v Číně,PolokonProdukty, jako jePevný nosič / loď, Pevná sic disková / plynová sprchová hlava, Pevný leptání sic zaostřující prsten / okrajový prstense široce prodávají v Evropě a ve Spojených státech a získali od těchto zákazníků velkou chválu a uznání. Upřímně se těšíme, až se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně. Vítejte na konzultaci.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E -mail: anny@veteksemi.com