Pevná sprchová hlava ve tvaru diskového ve tvaru sic

Úlohou pevné sprchové hlavy ve tvaru disku SIC v procesu CVD je rovnoměrně rozložit reakční plyn nad depoziční oblast, takže plyn může být rovnoměrně rozptýlen v reaktoru za účelem získání plochého a jednotného filmu.

Pevná sprchová hlava SIC je umístěna v horní části pece CVD nebo poblíž vstupu plynu. Reakční plyn vstupuje do struktury ve tvaru disku přes otvory distribuované na sprchové hlavě a rozptyluje se kolem povrchu sprchové hlavy. Prostřednictvím návrhu více kanálů a rovnoměrně distribuovaných vývodů může reakční plyn rovnoměrně proudit do celé oblasti reaktoru, zabránit koncentraci nebo turbulenci a zajistit konzistenci tloušťky vrstvy uložené na substrátu.

Současně má struktura sprchové hlavičky ve tvaru diskového tvaru polovodiče také difúzní efekt, který může účinně snížit průtok plynu, takže může být rovnoměrně rozptýlen na výstupu trysky a snížit dopad změn toku plynu na depoziční účinek. Pomáhá zabránit přímému dopadu plynu na substrát a zabránit problému nerovnoměrného ukládání.

Z pohledu materiálů je pevná sprchová hlava sic sic vyrobena z vysokoteplotních odolných, korozních odolných a pevných sic materiálu s velmi vysokou stabilitou. Může fungovat stabilně po dlouhou dobu v CVD peci a má dlouhou životnost.

Vetek Semiconductor poskytuje vysoce kvalitní přizpůsobené služby. Rozložení tvaru a otvorů pevné sprchové hlavy ve tvaru SiC ve tvaru SiC lze flexibilně upravit podle požadavků procesu zákazníka, aby se přizpůsobily různým typům plynu, průtokovým rychlostem a depozičním materiálům. Pro různé velikosti reaktorů nebo velikostí substrátu lze sprchové hlavy ve tvaru disků s různými průměry a distribucí otvorů přizpůsobit pro optimalizaci efektu distribuce plynu.

Vetek Semiconductor má vyspělé procesy a pokročilé technologie pro solidní výrobky SIC Semiconductor sprchové hlavy, což pomáhá velkému počtu zákazníků dosáhnout nepřetržitého pokroku v procesech CVD. Vetek Semiconductor se těší na to, že se stane vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Fyzikální vlastnosti pevného sic

To polovodičPevné obchody se sprchovou hlavicí ve tvaru diskové hlavy sic