Pevný kroužek SiC Focus

6.Hlavní aplikační oblasti

7. Veteksemi pevné SiC jádro výhody

Vynikající odolnost proti korozi plazmou

Při dlouhodobém vystavení vysoce korozivnímu plazmatu s vysokou hustotou, jako je CF4, O2 a Cl2, jsou běžné materiály náchylné k rychlému opotřebení a kontaminaci částicemi. Náš pevný zaostřovací kroužek SiC vykazuje vynikající odolnost proti korozi, s rychlostí koroze mnohem nižší než u materiálů, jako je křemen nebo oxid hlinitý. To znamená, že si udržuje hladký povrch v průběhu času, což výrazně snižuje riziko defektů plátků způsobených opotřebením součástí a zajišťuje nepřetržitou a stabilní hromadnou výrobu.

Vynikající stabilita při vysokých teplotách a výkon tepelného managementu

Proces leptání polovodičů generuje značné teplo, což způsobuje, že součásti komory zažívají dramatické kolísání teploty. Naše ohniskové kroužky mají extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti, schopné odolávat přechodným teplotám až do 1600 °C bez praskání nebo deformace. Kromě toho jejich vlastní vysoká tepelná vodivost pomáhá rovnoměrně a rychle rozptýlit teplo, účinně zlepšuje rozložení teploty na okraji plátku, čímž zvyšujeRovnoměrnost leptání a konzistence kritických rozměrů napříč celým plátkem.

Mimořádná čistota materiálu a strukturní hustota

Přísně kontrolujeme čistotu surovin z karbidu křemíku (≥99,999 %) a eliminujeme kontaminaci kovů během procesu spékání, abychom splnili přísné požadavky pokročilých výrobních procesů na kontrolu stopových nečistot. Hustá struktura vytvořená vysokoteplotním slinováním má extrémně nízkou poréznost, téměř úplně blokuje pronikání procesních plynů a vedlejších produktů. To zabraňuje degradaci výkonu a růstu částic způsobenému vnitřní degradací materiálu a zajišťuje čisté prostředí procesní komory.

Dlouhá mechanická životnost a komplexní hospodárnost

V porovnání s konvenčním spotřebním materiálem, který vyžaduje častou výměnu, nabízí pevné zaostřovací kroužky Veteksemi SiC výjimečnou odolnost. Udržují stabilní výkon po celou dobu své životnosti a několikrát prodlužují cykly výměny. To nejen přímo snižuje náklady na pořízení náhradních dílů, ale také výrazně zlepšuje využití stroje snížením prostojů zařízení kvůli údržbě, což má za následek významné celkové nákladové výhody pro zákazníky.

Přesná kontrola velikosti a flexibilní služby přizpůsobení

Rozumíme přesným požadavkům různých strojů a procesů na spotřební materiál. Každý zaostřovací kroužek prochází přesným obráběním a přísným testováním, aby byly zajištěny kritické rozměrové tolerance v rozmezí ±0,05 mm. Nabízíme také přizpůsobené služby, včetně vlastních velikostí, povrchových úprav (leštění na Ra ≤ 0,2 μm) a úprav vodivosti tak, aby dokonale vyhovovaly vašim specifickým požadavkům na proces a aplikačním scénářům.

Chcete-li získat podrobné technické specifikace, bílé knihy nebo opatření pro testování vzorků, kontaktujte náš tým technické podpory a prozkoumejte, jak může společnost Veteksemi zvýšit efektivitu vašeho procesu.