Pevný ostřící kroužek z karbidu křemíku

Pevný zaostřovací kroužek z karbidu křemíku Veteksemicon je klíčovou součástí při výrobě polovodičů, strategicky umístěný mimo destičku, aby byl zachován přímý kontakt. Využitím aplikovaného napětí tento prstenec soustředí plazmu, která jím prochází, a tím zvyšuje rovnoměrnost procesu na plátku. Tento zaostřovací kroužek je vyroben výhradně z karbidu křemíku pro chemické depozice v parách (CVD SiC) a ztělesňuje výjimečné kvality požadované polovodičovým průmyslem. My ve Veteksemicon se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných zaostřovacích kroužků z karbidu křemíku, které spojují prvotřídní kvalitu s nákladovou efektivitou.

Výhody produktu

Ve srovnání s tradičnímiOstřicí kroužky z křemíku (Si) nebo ze slinutého karbidu křemíku (sintrovaný SiC), náš produkt vyniká v klíčových rozměrech:

Je pozoruhodné, že vodivost karbidu křemíku a jeho odolnost vůči iontovému leptání jsou blízce podobné křemíku, což zajišťuje kompatibilitu se stávajícími výrobními procesy polovodičů a zároveň poskytuje lepší výkon – díky čemuž je fokusační kroužek Veteksemicon z pevného karbidu křemíku ideální volbou materiálu pro tuto kritickou aplikaci.

Veteksemicon Solid Silicon Carbide Focusing Ring představuje nejmodernější řešení v oblasti výroby polovodičů. Plně využívá jedinečné materiálové výhody  CVD SiC k usnadnění spolehlivých, vysoce přesných a vysoce účinných leptacích procesů, což významně přispívá k pokroku v oblasti polovodičové technologie nové generace.