Vakuové sklíčidlo

Aplikace: 

Vysoko účinnosti vakuové učebny vytvořené pro přesnou adsorpci a pevnou fixaci oplatků a ingotů. Je v pořádku - vhodný pro situace, včetně výroby polovodičů, řezání oplatky, přesného zpracování, vysokoteplotní epitaxy, leptání a implantace iontů.

Základní parametry:

● Nastavitelná porozita (v rozmezí od 10 do 200 μm).
● Schopnost odolat ultra - vysokých teplotách (do ≤1600 ° C) a vykazovat vynikající odolnost proti tepelnému šoku.
● Adsorpční vakuum: Standard je - 90 kPa (přizpůsobitelný pro dosažení 100 kPa).

● Rozměry přísavky: mohou podporovat 4/6/8/12 - palcové oplatky a velikost ingotu lze přizpůsobit podle specifických potřeb.

Ⅰ. Popis

Veteksemicon keramické vakuové sklíčivo používá kombinovanou strukturu porézní keramiky a kovového vnějšího kroužku. Prostřednictvím personalizovaného návrhu vzduchových kanálů a pórů si uvědomuje rovnoměrné rozdělení adsorpční síly a vysoké stability. Toto sklíčidlo se přizpůsobí pro výrobu polovodičů, řezání oplatky, přesné zpracování atd. Může pracovat v nastavení vysoké teploty a vysokorychlostního pohybu a splňuje požadavky na kompatibilitu oplatků/ingotů v různých velikostech.

Ⅱ. Základní struktura a výhody materiálu

Vícevrstvé rozložení kompozitu:

✔ Povrchová vrstva: Vyrobeno z porézní keramiky (můžete si vybrat mezi porézní křemíkový karbid nebo porézní grafit). Průměr pórů může být upraven (10 - 200 um), což zaručuje, že adsorpční síla je rovnoměrně přenesena na povrch oplatky, čímž se zabrání budování místního napětí - nahoru.

✔ matice: Skládá se z vysoce tuhého kovového rámu (nerezové oceli nebo slitiny hliníku), který nabízí strukturální podporu a vzduchotěsnost.

✔ Airways a Póry: Přesně obrobené vnitřní dýchací cesty tvoří síť spolu s rovnoměrně rozloženými mikropóry. Toto nastavení podporuje rychlou vakuovou extrakci (adsorpční síla může dosáhnout až do - 90 kPa) a okamžité uvolnění.

Ⅲ . Porovnání MATeriální charakteristiky

1.. Porovnání vlastností materiálu

2. scénáře aplikací a případy

✔ Polovodičový textilie

Epitaxiální růst: Může pevně adsorbovat oplatky při vysokých teplotách, což brání deformaci deformací a kontaminované.

Litografie a leptání: Umožňuje přesné umístění na platformách s vysokou rychlostí (zrychlení ≤ 10g), což zajišťuje přesnost grafického zarovnání.

✔ Ingotské zpracování

Řezání a broušení: Může adsorbovat těžké ingoty (jako je safír a křemík - karbidové ingoty), snižování okrajových praskání v důsledku vibrací.

✔ Vědecký výzkum a speciální technologie

Vysoko - teplotní žíhání: porézní křemík - sání karbidu mohou pracovat nepřetržitě při 1600 ° C bez deformace nebo odvzdušňovacího znečištění.

Vakuový povlak: S designem s vysokou - vzduchem - těsností se může přizpůsobit prostředí PVD/CVD.

3. přizpůsobená služba

✔ Nabízíme přizpůsobení velikosti a zatížení.

✔ Stomata a dýchací cesty lze optimalizovat tak, aby splňovaly specifické požadavky.

✔ Lze jej přizpůsobit zvláštním prostředí.

Ⅳ. FAQ:

Jak vakuové sklíčivo dosahují kompatibility více velikosti oplatky (např. 12/8/6 ")?

Otázka: Jak se jediné sklíčivo vejde do 12palcové, 8palcové a 6palcové oplatky současně? Je nutná fyzická restrukturalizace?

A:Vícerozměrná kompatibilita prostřednictvím adaptivního dýchacího cest a stomatálního rozdělení:

✔ Dynamická stomatální kontrola: Stomata na povrchu přísavky je distribuována v oblasti kruhu a vzduchový obvod v různých oblastech je řízen vnějším ventilem.

Například při absorpci 8palcové oplatky jsou povoleny pouze póry ve střední oblasti a vnější póry jsou uzavřeny (aby se zabránilo úniku adsorpční síly).

✔ Flexibilní design dýchacích cest: Síť portů má modulární rozvržení, které odpovídá profilům okrajů různých velikostí, aby bylo zajištěno jednotné pokrytí adsorpční síly. a Výhody jsou následovně:

Nulová náhrada hardwaru: Není třeba odstraňovat nebo vyměnit přísavný šálek, prostřednictvím spínače softwaru nebo plynového ventilu lze přizpůsobit různým velikostem.

Úspora nákladů: Snižte náklady na renovaci zařízení a prostoje a zvýšení flexibility výrobní linky.