Keramické elektrostatické sklíčivo

Procesy výroby polovodičů, zejména zpracování oplatky, se provádějí ve vakuovém prostředí a mechanicky upínací destičky nese 

určitá rizika. Když je síla soustředěna na bod upínání, křemíkové oplatky mohou zbavit drobných fragmentů, což způsobuje vážné poškození produkce oplatky.

V tomto případě se keramické elektrostatické sklíčivo stává lepší volbou, která upevňuje oplatku elektrostatickou silou. Elektrostatická síla působí rovnoměrně na oplatku, takže oplatka může být pevně stanovena, což zlepšuje přesnost procesu.

Podle příslušných výzkumných prací má keramické elektrostatické sklíčidlo silnější sání než jiné elektrostatické sklíčivo. Například keramické elektrostatické sklíčivo má mnohem silnější sání než elektrostatické sklíčivo pro domácí mazlíčky.

Ceramics Chuck je obvykle vyroben z vysoce výkonných keramických materiálů, jako jsou AL2O3, ALN nebo SIC, který má vysokou rezistenci na tepla, izolaci a odolnost proti korozi. Porézní sic keramické sklíčidlo je nejen stabilní při extrémních teplotách, ale také účinně zabraňuje keramickému e-chuku v důsledku chemických činidel a leptání plazmy během výrobního procesu.

Kontrola teploty: Vysoká tepelná vodivost a stabilní tepelné vlastnosti keramických materiálů umožňují keramickému vakuovému učebnu oxidu hlinitého efektivního řízení teploty, čímž se během procesu optimalizuje rozdělení teploty.

Vakuová přizpůsobivost: Keramické elektrostatické sklíčivo je vhodné pro vakuová prostředí, zejména u nízkotlakých a vysoce přesných leptacích procesů.

Nízká tvorba částic: Porézní sic keramická e-chuck má hladký povrch, který může snížit kontaminaci částic během fixace oplatky a pomáhat zlepšit výnos produktu.

Aplikace: Používá se hlavně v polovodičové výrobě, odnímatelné keramické elektrostatické sklíčidlo poskytující přesné polohování a stabilitu, což je velmi užitečné pro litografii, leptání a další výrobní procesy zpracování oplatky. Zajistěte, aby oplatka byla během zpracování neporušená a zlepšila kvalitu výroby čipů.

To polovodičKeramické obchody s e-chuck: