TAC potažený kroužek

Prsten na potahování veteksemi TAC je vysoce výkonná komponenta přizpůsobená pro výrobní procesy polovodičů. Jeho jedinečně navržený povlak Tantalum Carbide (TAC) dává produktu vynikající odolnost proti vysoké teplotě, odolnost proti korozi a mechanickou stabilitu, což výrazně zlepšuje životnost a spolehlivost grafitových složek v polovodičovém zařízení.

Vynikající výkon povlaků Tantalum Carbide ：

● Ultra vysoká teplotní odolnost: TAC povlaky mohou snadno odolat extrémních teplotách až 2200 ° C a zůstat stabilní v prostředí tepelného šoku běžné při výrobě polovodičů.

● Vynikající chemická stabilita: Povlak vykazuje silnou odolnost vůči běžným korozivním plynům, jako je vodík, amoniak, silan a křemík, což účinně chrání substrát před chemickým útokem.

● Vynikající mechanické vlastnosti: TAC povlak má vysokou tvrdost, vysokou odolnost proti opotřebení a dobrou odolnost proti tepelnému nárazu a za drsných pracovních podmínek může dlouho fungovat po dlouhou dobu.

● Vynikající adheze: Potahování je pevně spojeno s grafitovým substrátem, účinně zabrání odlupování povlaku a zajištění konzistentního výkonu během životnosti produktu.

● Vysoká čistota: Povlak TAC připravený CVD má extrémně vysokou čistotu, což minimalizuje zavedení nečistot a poskytuje čisté procesní prostředí pro výrobu polovodičů.

Výhody prstenů potažených karbidem tantalu:

● Životnost rozšířeného vybavení: TAC povlak účinně blokuje chemické reakce a difúzi nečistot, což významně prodlouží životnost grafitových složek a snižuje náklady na údržbu.

● Zlepšit účinnost výroby: Vysoká teplotní odolnost a odolnost proti korozi produktu umožňují mu fungovat za náročnějších podmínek, zkrácení výrobního cyklu a zvýšení výrobní kapacity.

● Vylepšená kvalita produktu: Potahování TAC s vysokou čistotou pomáhá snižovat kontaminaci a zajišťuje kvalitu a konzistenci polovodičových produktů.

Vetek Semiconductor se specializoval na produkty TAC, jako je napříkladTAC Coating Chuck, Deska rotační rotační deska TAC, TAC Coating Subser, Susceptor potaženého tacpo mnoho let. Naše prstencové výrobky potažené TAC mají funkce životnosti rozšířeného vybavení, zlepšenou efektivitu výroby a zlepšení kvality produktu. Zároveň se vetek Semiconductor již dlouho zavázal poskytovat pokročilá technologická a produktová řešení pro polovodičový průmysl. 

Vzhledem k různým chemickým vlastnostem grafitových a tantalum karbidových materiálů se koeficient tepelné roztažnosti nebude shodovat a je snadné být zahříván při vysoké teplotě polovodičem veteku prostřednictvím specifického procesu pro podporu tvorby povlaku tantalu, částečně uloženého na povrchu matice, do grafického matrixu. Tímto způsobem je povlak karbidu tantalu pevně vnořen do grafitové matrice prostřednictvím růstu in situ, což významně zvyšuje vazebnou sílu mezi povlakem a matricí a účinně zabraňuje loupání karbidu Tantalu. Upřímně doufáme, že se stane vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Obchody prstenů potažených karbidem Tantalum: