Loď z vysoce čisté křemenné oplatky

Vysoce čistotní křemenná destička vetek Semiconductor je vyrobena z ultra vysoké čistoty křemene, který má vlastnosti nízkého obsahu hydroxylu, vysoké čistoty a silné odolnosti proti vysoké teplotě. Tento materiál se také široce používá v polovodičovém průmyslu jako materiál pro difúzní pece a komponenty CVD pece. Jako kontejner pro přepravu křemíkových oplatků se v polovodiči, fotovoltaickém, chemickém a jiném polích používá oplatky s vysokou čistotou.

Scénáře aplikací

První je pole polovodičů. Proces tepelného zpracování destiček je velmi důležitý, včetně tepelné oxidace, difúze, žíhání atd. Procesem tepelného zpracování dodáváme destičkám nové vlastnosti.

Trubky jádra vsázkových pecí se používají pro procesy zpracování polovodičových plátků, jako je tepelná oxidace, vysokoteplotní difúze, žíhání a nanášení tenkých vrstev. Vsádková ohřívací pec se používá hlavně k ohřevu tělesa pece spirálami k dokončení tepelného zpracování. Podle různých pracovních struktur lze jádrové trubky vsázkových pecí rozdělit na horizontální pece a vertikální pece:

(1) Vysoce čistotní křemenná destička vodorovné pece je umístěna vodorovně, takže se nazývá horizontální pec.

V procesu tepelného zpracování je oplatka nanesena na člun s vysokou čistotou křemennou destičkou, pomalu posíláno do trubice křemenné pece a oplatka je umístěna do konstantní teplotní zóny pro zpracování. Po čekání na dokončení procesu je použitá křemenná loď pomalu vytažena z křemenné pece, aby se zabránilo poškození oplatky kvůli náhlým změnám teploty. Vodorovné pece se široce používají v procesu difúze integrovaných obvodů s průměry oplatky menší než 200 mm. 

Výhody horizontálních pecí jsou jednoduchý proces, dobrá rovnoměrnost mezi plátky a schopnost zpracovávat více plátků současně. Nevýhodou je pomalá rychlost ohřevu, velká velikost zařízení, obtížná automatizace a snadný vstup vnějšího vzduchu při vkládání a vyjímání waferů.

(2) Loď o křemenné oplatky s vysokou čistotou svislé pece je umístěna svislá, takže se nazývá svislá pec.

Oplatka je naložena na křemennou věž a pomalu stoupá do trubky křemenné pece k ohřevu. Během procesu zahřívání se bude člun s vysoce čistým křemenným oplatkem pomalu otáčet, aby se zajistilo rovnoměrné zahřátí oplatky. Po zpracování bude křemenná věž pomalu klesat, aby se zabránilo změnám teploty, které by mohly způsobit poškození plátku. Vertikální pece se používají hlavně v procesu integrovaného obvodu destiček o průměru 200 mm a 300 mm. Základní technologie vertikálních pecí spočívá ve vysoce přesném řízení teplotního pole, kontrole částic, mikroprostředí mikro-kyslíkové kontroly a motorizaci. Výhody vertikálních pecí jsou tenká vrstva přírodního oxidu, dobrá rovnoměrnost, snadnější automatizace, malé nároky na zařízení a dávkové zpracování. Nevýhodou je pomalá rychlost ohřevu.

Ve fotovoltaickém poli vyžaduje výrobní proces fotovoltaických buněk lodě křemíku a přepravoval křemíkové oplatky v procesu difúze s vysokou teplotou. Vysokoteplotní ošetření ve vysoce čistém dusíku, kyslíku nebo jiné inertní plynové atmosféře, jako je difúze fosforu nebo difúze boru, je důležitým krokem ve výrobním procesu solárních článků. Účelem je vytvořit křižovatku PN na křemíkové oplatce.

Křemenný člun má uvnitř přesně navržené štěrbiny, které zajišťují, že křemíkový plátek během procesu vysokoteplotní difúze udržuje přesnou polohu a je rovnoměrně zahříván. Protože křemenný materiál má dobrou odolnost vůči vysokým teplotám a chemickou stabilitu, neznečišťuje křemíkový plátek, což přispívá k udržení vysoké čistoty výrobního prostředí.

Jako inovátor a vůdce na čínském oplatku používal trh s křemenným lodím, ať už jste zapojeni do polovodičového průmyslu nebo fotovoltaického průmyslu, pokud potřebujete vysokou čistotu křemenné destičky Je to pro vás podle vašich potřeb.

VeTek Semiconductor Produkty obchody: