EPI podporovatel

VeTek Semiconductor is a professional leader China EPI susceptor, ALD Planetary Susceptor and TaC Coated Graphite Susceptor manufacturer. a Naše podpora EPI je důležitou součástíepitaxiální růstV procesu výroby polovodičů. Jeho hlavní funkcí je podpora a zahřívání oplatky tak, aby vysoce kvalitní epitaxiální vrstva mohla být rovnoměrně pěstována na povrchu oplatky.

EPI Susceptory Vetek Semiconductors jsou obvykle vyrobeny z vysoce čistého grafitu a potaženy vrstvou karbidu křemíku (SIC).Tento design má následující klíčové výhody:

● Stabilita s vysokou teplotou: Susceptor EPI může zůstat stabilní ve vysokoteplotním prostředí a zajistit jednotný růst epitaxiální vrstvy.

● Odolnost proti korozi: Povlak SIC má vynikající odolnost proti korozi a může odolat erozi chemických plynů, což prodlužuje životnost zásobníku.

● Tepelná vodivost: Vysoká tepelná vodivost materiálu SIC zajišťuje rovnoměrné rozdělení teploty oplatky během zahřívání, čímž se zlepšuje kvalita epitaxiální vrstvy.

● Porovnávání koeficientu tepelné rozšiřování: The thermal expansion coefficient of SiC is similar to that of graphite, avoiding the problem of coating shedding due to thermal expansion and contraction.

Základní fyzikální vlastnostiCVD SIC povlak:

CVD SIC Coating Production Shop:

Přehled průmyslového řetězce polovodičového čipu: