produkty
Sic Coated Pancake Susceptor pro LPE PE3061S 6 '' WAFERS
  • Sic Coated Pancake Susceptor pro LPE PE3061S 6 '' WAFERSSic Coated Pancake Susceptor pro LPE PE3061S 6 '' WAFERS
  • Sic Coated Pancake Susceptor pro LPE PE3061S 6 '' WAFERSSic Coated Pancake Susceptor pro LPE PE3061S 6 '' WAFERS

Sic Coated Pancake Susceptor pro LPE PE3061S 6 '' WAFERS

Pancake Susceptor potažený SiC pro 6'' wafery LPE PE3061S je jednou ze základních komponent používaných při zpracování epitaxních waferů 6'' waferů. VeTek Semiconductor je v současné době předním výrobcem a dodavatelem SiC Coated Pancake Susceptor pro 6'' destičky LPE PE3061S v ​​Číně. Pancake Susceptor potažený SiC, který poskytuje, má vynikající vlastnosti, jako je vysoká odolnost proti korozi, dobrá tepelná vodivost a dobrá rovnoměrnost. Těšíme se na váš dotaz.

Jako profesionální výrobce by vám VeTek Semiconductor rád poskytl vysoce kvalitní palačinkový susceptor potažený SiC pro 6'' destičky LPE PE3061S.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor pro 6" wafery LPE PE3061S je kritické zařízení používané v procesech výroby polovodičů.


Pancake susceptor potažený SiC pro 6" destičky LPE PE3061S Vlastnosti produktu:

Stabilita s vysokou teplotou: SIC vykazuje vynikající vysokoteplotní stabilitu, udržuje svou strukturu a výkon ve vysokoteplotním prostředí.

Vynikající tepelná vodivost: SiC má výjimečnou tepelnou vodivost, což umožňuje rychlý a rovnoměrný přenos tepla pro rychlý a rovnoměrný ohřev.

Odolnost proti korozi: SIC má vynikající chemickou stabilitu, odolává korozi a oxidaci v různých topných prostředích.

Rovnoměrné rozdělení vytápění: Nosič oplatky potažený SIC poskytuje rovnoměrné rozdělení vytápění a zajišťuje rovnoměrnou teplotu na povrchu oplatky během zahřívání.

Vhodné pro výrobu polovodičů: Nosič destiček SI je široce používán v polovodičových výrobních procesech, zejména pro růst SI Epitaxy a další procesy vytápění vysokoteplotních.


Výhody produktu:

Vylepšená účinnost produkce: SIC-potahový palačinka Susceptor umožňuje rychlé a jednotné vytápění, zkrátí dobu vytápění a zvyšuje účinnost výroby.

Zajištěná kvalita produktu: Rovnoměrné rozdělení vytápění zajišťuje konzistenci během zpracování oplatky, což vede ke zlepšení kvality produktu.

Prodloužená životnost zařízení: Materiál SiC nabízí vynikající tepelnou odolnost a chemickou stabilitu, což přispívá k delší životnosti palačinkového susceptoru.

Řešení na míru: Susceptor potažený SiC, nosič Si epitaxní destičky lze přizpůsobit různým velikostem a specifikacím na základě požadavků zákazníka.


cvd-sic-coating-film-crystal-structure


Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku:

Základní fyzikální vlastnosti CVD SIC povlaku
Vlastnictví Typická hodnota
Krystalová struktura Polykrystalická fáze FCC β, hlavně (111) orientovaná
Hustota 3,21 g/cm³
Tvrdost Tvrdost 2500 Vickers(zátěž 500g)
Velikost zrn 2~10μm
Chemická čistota 99,99995 %
Kapacita tepla 640 J · KG-1· K.-1
Teplota sublimace 2700 ℃
Síla ohybu 415 MPa RT 4-bod
Youngův modul Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
Tepelná vodivost 300 W · m-1· K.-1
Tepelná roztažení (CTE) 4,5×10-6K-1


Dealer Semiconductor

VeTek Semiconductor Production Shop


Přehled průmyslového řetězce polovodičového chip epitaxy:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Pancake susceptor potažený SiC pro 6'' destičky LPE PE3061S
Odeslat dotaz
Kontaktní informace
Máte-li dotazy ohledně povlaku karbidu křemíku, povlaku karbidu tantalu, speciálního grafitu nebo ceníku, zanechte nám prosím svůj e-mail a my se vám do 24 hodin ozveme.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept