Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní produktové nabídky patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor se zaměřuje na to, aby se stal inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouVodicí kroužek potažený TaC, Třílistý vodicí kroužek potažený CVD TaC, Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC, Planetární epitaxní susceptor SiC povlak CVD TaC, Povlakový kroužek z karbidu tantalu, Porézní grafit potažený karbidem tantalu, Rotační susceptor povlaku TaC, Kroužek z karbidu tantalu, TaC povlaková rotační deska, Susceptor destičky potažený TaC, Deflektorový kroužek potažený TaC, Kryt povlaku CVD TaC, Sklíčidlo potažené TaCatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

●Teplotní stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnost vůči tepelným zásobám

●Silná přilnavost ke grafitu

●Konformní pokrytí povlakem

● Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

●Nosič oplatek

● Indukční topný susceptor

● Odporové topné těleso

●Satelitní disk

●Sprchová hlavice

●Vodící kroužek

●LED Epi přijímač

●Vstřikovací tryska

●Maskovací kroužek

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC
Deska potažená TaC TaC povlaková rotační deska Přijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

CVD tac povlak

V polovodičovém průmyslu je CVD TAC Coating kroužek vysoce výhodnou složkou navrženou tak, aby splňovala náročné požadavky na procesy růstu krystalů křemíku (SIC). CVD CVD TAC Coating kroužku Vetek Semiconductor poskytuje vynikající vysokoteplotní odolnost a chemickou inertnost, což z něj činí ideální volbu pro prostředí charakterizovaná zvýšenými teplotami a korozivními podmínkami. Zavázali jsme se vytvářet efektivní produkci monokrystalového příslušenství křemíkového karbidu. Pls Neváhejte nás kontaktovat pro další otázky.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Lpe sic epi halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon je speciální design pro horizontální epitaxní pec, revoluční produkt navržený pro povýšení procesů epitaxe SiC reaktoru LPE. Toto špičkové řešení se může pochlubit několika klíčovými funkcemi, které zajišťují vynikající výkon a efektivitu během vašich výrobních operací. Vetek Semiconductor je profesionál ve výrobě LPE SiC Epi halfmoon v 6 palcích, 8 palců. Těšíme se na navázání dlouhodobé spolupráce s vámi.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

LED EPI

Vetek Semiconductor je předním dodavatelem tac povlaků a sic povlakových grafitových částí. Specializujeme se na výrobu špičkových LED EPI susceptorů, nezbytných pro procesy Epitaxy LED. Těšíme se na vaši další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Susceptor MOCVD s povlakem TaC

VeTek Semiconductor je komplexní dodavatel zabývající se výzkumem, vývojem, výrobou, návrhem a prodejem povlaků TaC a dílů povlaků SiC. Naše odbornost spočívá ve výrobě nejmodernějších MOCVD susceptorů s povlakem TaC, které hrají zásadní roli v procesu epitaxe LED. Uvítáme, když s námi proberete dotazy a další informace.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

TAC potažený hluboký UV LED Susceptor

TAC Coating je vývoj povlaku nové generace pro drsné prostředí.Vetek Semiconductor je integrovaný dodavatel zapojený do výzkumu a vývoje, výroby, designu a prodeje TAC Coatings. Specializujeme se na výrobu UV susceptorů potažených TAC, které jsou v procesu LED epitaxy, které jsou rozhodujícími součástmi LED. Náš TAC potažený hluboký UV Susceptor nabízí vysokou tepelnou vodivost, vysokou mechanickou pevnost, zlepšenou účinnost produkce a ochranu epitaxiálních oplatků. Vítejte na dotazu nás.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC

Díly Halfmoon potažené CVD TaC povlakem jsou odolnější než díly Halfmoon potažené SiC. VeTek Semiconductor je předním výrobcem a dodavatelem v Číně pro Tantal Carbide TaC Coated Halfmoon, specializujeme se na výzkum a vývoj a výrobu, dokážeme dobře kontrolovat kvalitu a nabízet konkurenceschopné cena. Jste vítáni k návštěvě naší továrny pro další diskusi o dlouhodobé spolupráci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Povlak z karbidu tantalu

Klíčové vlastnosti:

Aplikace:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Data EDX povlaku TaC：

Data krystalové struktury povlaku TaC:

CVD tac povlak

Lpe sic epi halfmoon

LED EPI

Susceptor MOCVD s povlakem TaC

TAC potažený hluboký UV LED Susceptor

Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa