Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní produktové nabídky patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor se zaměřuje na to, aby se stal inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouVodicí kroužek potažený TaC, Třílistý vodicí kroužek potažený CVD TaC, Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC, Planetární epitaxní susceptor SiC povlak CVD TaC, Povlakový kroužek z karbidu tantalu, Porézní grafit potažený karbidem tantalu, Rotační susceptor povlaku TaC, Kroužek z karbidu tantalu, TaC povlaková rotační deska, Susceptor destičky potažený TaC, Deflektorový kroužek potažený TaC, Kryt povlaku CVD TaC, Sklíčidlo potažené TaCatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

●Teplotní stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnost vůči tepelným zásobám

●Silná přilnavost ke grafitu

●Konformní pokrytí povlakem

● Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

●Nosič oplatek

● Indukční topný susceptor

● Odporové topné těleso

●Satelitní disk

●Sprchová hlavice

●Vodící kroužek

●LED Epi přijímač

●Vstřikovací tryska

●Maskovací kroužek

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC
Deska potažená TaC TaC povlaková rotační deska Přijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

CVD TAC Coating Cover

CVD TAC Coating Cover poskytovaný vetek Semiconductor je vysoce specializovaná komponenta navržená speciálně pro náročné aplikace. Naše pokročilé funkce a výjimečný výkon nabízí náš CVD TAC Coating Cover několik klíčových výhod. Naše krytí CVD TAC TAC poskytuje nezbytnou ochranu a výkon potřebný pro úspěch. Těšíme se na prozkoumání potenciální spolupráce s vámi!

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

TAC povlak planetárního susceptoru

TAC Coating Planetary Susceptor je výjimečným produktem pro Aixtron Epitaxy Equipment. TAC povlak Vetek Semiconductor poskytuje vynikající vysokoteplotní odolnost a chemickou inertnost. Tato jedinečná kombinace zajišťuje spolehlivý výkon a dlouhou životnost, a to i v náročném prostředí. Vetek se zavazuje poskytovat vysoce kvalitní produkty a sloužit jako dlouhodobý partner na čínském trhu s konkurenčními cenami.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Deska podpůrné desky s pevnem

Povlak TAC vydrží vysokou teplotu 2200 ℃. Vetek Semiconductor poskytuje vysokou čistotu tac povlak s nečistotami pod 5ppm v Číně. TAC Coating Povlak na podpůrná deska je schopna odolat vodíku amoniaku, argonin v reakční komoře epitaxiálního zařízení. Zlepšuje životnost produktu. Poskytujete požadavky, poskytujeme přizpůsobení.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

TAC Coating Chuck

Chuck vetetek Semiconductor's TAC Coating Chuck má vysoce kvalitní povlak povrchu, známý pro jeho vynikající vysokoteplotní odolnost a chemickou inertici, zejména při procesech epitaxy křemíku (SIC) (EPI). Se svými výjimečnými funkcemi a vynikajícím výkonem nabízí náš Chuck TAC Coating několik klíčových výhod. Zavázali jsme se poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že bude vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

CVD tac povlak

V polovodičovém průmyslu je CVD TAC Coating kroužek vysoce výhodnou složkou navrženou tak, aby splňovala náročné požadavky na procesy růstu krystalů křemíku (SIC). CVD CVD TAC Coating kroužku Vetek Semiconductor poskytuje vynikající vysokoteplotní odolnost a chemickou inertnost, což z něj činí ideální volbu pro prostředí charakterizovaná zvýšenými teplotami a korozivními podmínkami. Zavázali jsme se vytvářet efektivní produkci monokrystalového příslušenství křemíkového karbidu. Pls Neváhejte nás kontaktovat pro další otázky.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Lpe sic epi halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon je speciální design pro horizontální epitaxní pec, revoluční produkt navržený pro povýšení procesů epitaxe SiC reaktoru LPE. Toto špičkové řešení se může pochlubit několika klíčovými funkcemi, které zajišťují vynikající výkon a efektivitu během vašich výrobních operací. Vetek Semiconductor je profesionál ve výrobě LPE SiC Epi halfmoon v 6 palcích, 8 palců. Těšíme se na navázání dlouhodobé spolupráce s vámi.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Povlak z karbidu tantalu

Klíčové vlastnosti:

Aplikace:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Data EDX povlaku TaC：

Data krystalové struktury povlaku TaC:

CVD TAC Coating Cover

TAC povlak planetárního susceptoru

Deska podpůrné desky s pevnem

TAC Coating Chuck

CVD tac povlak

Lpe sic epi halfmoon

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa