Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní produktové nabídky patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor se zaměřuje na to, aby se stal inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouVodicí kroužek potažený TaC, Třílistý vodicí kroužek potažený CVD TaC, Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC, Planetární epitaxní susceptor SiC povlak CVD TaC, Povlakový kroužek z karbidu tantalu, Porézní grafit potažený karbidem tantalu, Rotační susceptor povlaku TaC, Kroužek z karbidu tantalu, TaC povlaková rotační deska, Susceptor destičky potažený TaC, Deflektorový kroužek potažený TaC, Kryt povlaku CVD TaC, Sklíčidlo potažené TaCatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

●Teplotní stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnost vůči tepelným zásobám

●Silná přilnavost ke grafitu

●Konformní pokrytí povlakem

● Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

●Nosič oplatek

● Indukční topný susceptor

● Odporové topné těleso

●Satelitní disk

●Sprchová hlavice

●Vodící kroužek

●LED Epi přijímač

●Vstřikovací tryska

●Maskovací kroužek

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC
Deska potažená TaC TaC povlaková rotační deska Přijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

Třílistý kroužek potažený TaC

Vetek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem prstenců potaženého TAC v Číně. Po mnoho let jsme se specializovali na TAC a SIC. Naše výrobky mají odolnost proti korozi, vysokou pevnost. Těšíme se, až se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Chuck potažené karbidem tantalum

Vetek Semiconductor je předním výrobcem upínacího upínače a inovátora potaženého karbidem Tantalum v Číně. Specializovali jsme se po mnoho let na TAC.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Kryt potaženého karbidem tantalu

Vetek Semiconductor je přední výrobce krytí a inovátora potaženého karbidem tantalu v Číně. Po mnoho let jsme se specializovali na TAC a sic povlak. Naše výrobky mají odolnost proti korozi, vysokou pevnost. Těšíme se, až se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Ultra čistý grafit dolní poloviční

Vetek Semiconductor je předním dodavatelem přizpůsobeného ultra čistého grafitového dolního Halfmoon v Číně, specializující se na pokročilé materiály po mnoho let. Náš ultra čistý grafit dolní halfmoon je speciálně navržen pro epitaxiální zařízení SIC, což zajišťuje vynikající výkon. Vyrobeno z ultraparetního importovaného grafitu, nabízí spolehlivost a odolnost. Navštivte naši továrnu v Číně a prozkoumejte náš vysoce kvalitní ultra čistý grafit dolní halfmoon z první ruky.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Horní poloviční část sic potažená

Vetnek Semiconductor je předním dodavatelem přizpůsobené horní části Halfmoon, který se potahuje v Číně, specializující se na pokročilé materiály více než 20 let. VETEK Semiconductor Upper Halfmoon část Sic Coated je speciálně navržena pro sic epitaxiální zařízení, která slouží jako klíčová složka v reakční komoře. Vyrobeno z ultra-čistého, polovodičového grafitu, zajišťuje vynikající výkon. Zveme vás k návštěvě naší továrny v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Nosič destičky křemíku karbidu

Vetek Semiconductor je přední přizpůsobený dodavatel nosiče destiček na silikonové karbidy v Číně. Byli jsme specializováni na pokročilý materiál více než 20 let. Nabízíme nosič destičky sic karbidového epitaxie, pro přepravu substrátu SIC epitaxie v epitaxiálním reaktoru. Tento nosič destičky z karbidu křemíku karbidu je důležitou sic potaženou součástí poloviční části, odolnosti proti vysoké teplotě, oxidační odolnosti, odolnost proti opotřebení. Vítáme vás, abyste navštívili naši továrnu v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Jako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Povlak z karbidu tantalu

Klíčové vlastnosti:

Aplikace:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Data EDX povlaku TaC：

Data krystalové struktury povlaku TaC:

Třílistý kroužek potažený TaC

Chuck potažené karbidem tantalum

Kryt potaženého karbidem tantalu

Ultra čistý grafit dolní poloviční

Horní poloviční část sic potažená

Nosič destičky křemíku karbidu

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa