produkty
CVD Sic Focus Ring
  • CVD Sic Focus RingCVD Sic Focus Ring

CVD Sic Focus Ring

Vetek Semiconductor je předním domácím výrobcem a dodavatelem CVD SIC Focus Rings, věnovaných poskytování vysoce výkonných a vysoce reliabilitních produktů pro polovodičové průmysl. CVD SIC Focus veteK Semiconductor používá technologii pokročilých chemických depozice párů (CVD), má vynikající odolnost proti vysoké teplotě, odolnost proti korozi a tepelnou vodivost a jsou široce používány v polovodičových litografických procesech. Vaše dotazy jsou vždy vítány.

Jako základ moderních elektronických zařízení a informačních technologií se polovodičová technologie stala nezbytnou součástí dnešní společnosti. Od chytrých telefonů po počítače, komunikační vybavení, lékařské vybavení a solární články se téměř všechny moderní technologie spoléhají na výrobu a aplikaci polovodičových zařízení.


Vzhledem k tomu, že požadavky na funkční integraci a výkon elektronických zařízení se stále zvyšují, technologie procesu polovodičů se také neustále vyvíjí a zlepšuje. Jako základní spojení v polovodičové technologii, proces leptání přímo určuje strukturu a vlastnosti zařízení.


Proces leptání se používá k přesnému odstranění nebo úpravě materiálu na povrchu polovodiče za vzniku požadované struktury a obvodu. Tyto struktury určují výkon a funkčnost polovodičových zařízení. Proces leptání je schopen dosáhnout přesnosti úrovně nanometrů, což je základ pro výrobu vysoce výkonných integrovaných obvodů s vysokou hustotou (ICS).


CVD SIC Focus Ring je jádro složkou v suchém leptání, která se používá hlavně k zaostření plazmy, aby měla vyšší hustotu a energii na povrchu oplatky. Má funkci rovnoměrného rozložení plynu. Vetek Semiconductor roste sic vrstvu po vrstvě prostřednictvím procesu CVD a nakonec získá CVD SiC Focus kroužek. Připravený kruh zaostření CVD sic může dokonale splňovat požadavky procesu leptání.


CVD SiC Focus Ring working diagram

CVD SIC Focus Ring je vynikající v mechanických vlastnostech, chemických vlastnostech, tepelné vodivosti, odolnosti proti vysoké teplotě, odolnost proti leptání iontů atd.


● Vysoká hustota snižuje objem leptání

● Vysoká pásmová mezera a vynikající izolace

● Vysoká tepelná vodivost, koeficient s nízkým rozšiřováním a odolnost proti tepelnému šoku

● Vysoká pružnost a dobrá odolnost proti mechanickému nárazu

● Vysoká tvrdost, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozi


Vetek Semiconductor má v Číně přední možnosti zpracování kruhu CVD SiC Focus. Mezitím nám VETEK Semiconductor's Collery Technical Team and Sales Team pomáhá poskytovat zákazníkům nejvhodnější výrobky pro zaostření. Výběr polovodiče vetek znamená partnerství se společností odhodlanou posouvat hraniceCVD křemíkový karbid inovace.


Se silným důrazem na kvalitu, výkon a spokojenost zákazníků dodáváme produkty, které nejen splňují, ale překračují přísné požadavky polovodičového průmyslu. Pomůžeme vám dosáhnout vyšší účinnosti, spolehlivosti a úspěchu ve vašich operacích s našimi pokročilými řešeními křemíkového karbidu CVD.


SEM data filmu CVD sic

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Základní fyzikální vlastnosti CVD SIC povlaku

Základní fyzikální vlastnosti CVD SIC povlaku
Vlastnictví
Typická hodnota
Krystalová struktura
Polykrystalická fáze FCC β, hlavně (111) orientovaná
Hustota povlaku SiC
3,21 g/cm³
Tvrdost povlaku sic
2500 vickers tvrdost (500g zatížení)
Velikost zrn
2 ~ 10 mm
Chemická čistota
99,99995%
Kapacita tepla
640 J · KG-1· K.-1
Sublimační teplota
2700 ℃
Síla ohybu
415 MPa RT 4-bodový
Youngův modul
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Tepelná vodivost
300 W · m-1· K.-1
Tepelná roztažení (CTE)
4,5 × 10-6K-1

To polovodičCVD SIC Focus Ring Products Shops:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Hot Tags: CVD Sic Focus Ring
Odeslat dotaz
Kontaktní informace
Máte-li dotazy ohledně povlaku karbidu křemíku, povlaku karbidu tantalu, speciálního grafitu nebo ceníku, zanechte nám prosím svůj e-mail a my se vám do 24 hodin ozveme.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept