Výběr správného CVD SiC, povlaku TaC nebo pevného SiC přímo určuje úrovně částic a životnost komponent na epitaxních/leptacích liniích. Tento článek poskytuje jasné hranice výběru podle teploty, atmosféry a procesu v souladu s hlavními řešeními výměny zařízení a klíčovými metrikami, které vám pomohou rychle se rozhodovat a snížit rizika.
Používáme cookies, abychom vám nabídli lepší zážitek z prohlížení, analyzovali návštěvnost webu a přizpůsobili obsah. Používáním tohoto webu souhlasíte s naším používáním souborů cookie. Zásady ochrany osobních údajů