Svislý kroužek potaženého pec sic

Ve svislých pecích je používání prstenů potažených SIC běžným řešením, které se používá hlavně v procesech tepelného zpracování s vysokou teplotoupolovodičové destičky. Vertikální prsteny potažené pecí sic jsou vysoce výkonné komponenty odolné proti teplotě používané k podpoře nebo ochraně oplatků, aby se zajistila stabilita a spolehlivost procesu.

Funkce svislého prstence

● Funkce

Podpůrná role. Používá se k podpoře oplatků k zajištění jejich stability a přesné polohy ve vysokoteplotních pecích.

●  Ochrana proti korozi

Zabraňte korozi základního materiálu korozivními plyny nebo chemikáliemi.

●  Snižte znečištění

Vysoce čistý povlak SiC může účinně zabránit uvolňování částic a kontaminaci nečistotami, aby byla zajištěna čistota procesu.

●  Vysoká teplotní odolnost

Udržuje vynikající mechanické vlastnosti a rozměrovou stálost v prostředí s vysokou teplotou (obvykle nad 1000°C).

Vlastnosti prstence s povlakem SiC pro vertikální pec

●  Vysoká tvrdost a pevnost

Materiály SIC mají vynikající mechanickou sílu a vydrží v peci vysokoteplotní napětí.

●  Dobrá tepelná stabilita

Vysoká tepelná vodivost SIC a koeficient nízkého tepelné roztažnosti pomáhají snižovat tepelné napětí.

●  Silná chemická stabilita

Sic povlaky mohou odolávat korozi v oxidaci, kyselém nebo alkalickém prostředí.

●  Nízká kontaminace částic

Hladký povrch snižuje možnost tvorby částic, která je zvláště vhodná pro ultra čisté prostředí polovodičové výroby.

Používá se pro difúzi, oxidaci, žíhání a další procesy ve vertikálních pecích k podpoře křemíkových plátků a zabránění kontaminaci částicemi během tepelného zpracování.

Výrobní materiály a procesy

● Substrát: Vyrobeno z vysoce kvalitního grafitu SGL je zaručena kvalita.

● Potahování: Na povrch grafitu je aplikován povlak křemíku chemickou depozicí par (CVD).

● Tloušťka povlaku je obvykle mezi 50 ~ 500 μm, která je upravena podle požadavků na použití.

●  Povlak SiC chemickým napařováním má vyšší čistotu a hustotu a lepší odolnost.

Vyberte vhodnéSiC povlakkroužek podle průměru destičky křemíku v peci a specifikacích nosiče. Můžeme to přizpůsobit pro vás. Vysoká čistota, hustý povlak je odolnější a méně znečišťující. Regulačně nahrazujte podle frekvence používání a požadavků na proces, abyste se vyhnuli kontaminaci nebo selhání podpory v důsledku stárnutí povlaku.

Jako profesionální dodavatel a výrobce kroužků potažených SiC pro vertikální pece v Číně se VeTek Semiconductor již dlouho zavázal poskytovat pokročilou technologii vertikálních pecí a produktová řešení pro polovodičový průmysl. Upřímně se těšíme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

KRYSTALOVÁ STRUKTURA CVD SIC FILMU

Základní fyzikální vlastnosti CVD SIC povlaku

VeTek SemiconductorVertikální pec Sic Coated Ring Shops: