Zprávy průmyslu

Krystalické růstové pece křemíku (SIC) hrají zásadní roli při výrobě vysoce výkonných sic oplatků pro polovodičová zařízení nové generace. Proces růstu vysoce kvalitních krystalů SIC však představuje významné výzvy. Od řízení extrémních tepelných gradientů po snížení defektů krystalů, zajištění jednotného růstu a kontrolu výrobních nákladů, každý krok vyžaduje pokročilá inženýrská řešení. Tento článek bude analyzovat technické výzvy pecí na růstové pece SIC z více perspektiv.

Smart Cut je pokročilý proces výroby polovodičů založený na implantaci iontů a stripování oplatky, speciálně navržený pro výrobu ultratenkých a vysoce jednotných 3C-SIC (krychlového křemíkového karbidu). Může přenášet ultra tenké krystalové materiály z jednoho substrátu do druhého, čímž se poruší původní fyzická omezení a změní celé substrátové průmysl.

Při přípravě vysoce kvalitních a vysoce výnosných křemíkových karbidových substrátů vyžaduje jádro přesnou kontrolu výrobní teploty dobrými materiály tepelného pole. V současné době jsou používané soupravy kelímku tepelného pole převážně s vysokou čistotou grafitovou strukturální složky, jejichž funkce jsou zahřívat roztaveným uhlíkovým práškem a křemíkovým práškem a udržovat teplo.

Když uvidíte polovodiče třetí generace, určitě se divíte, jaké byly první a druhé generace. „Generace“ je zde klasifikována na základě materiálů používaných ve výrobě polovodičů.

Elektrostatické sklíčivo (ESC), známé také jako elektrostatické sklíčivo (ESC, E-Chuck), je příslušenství, které používá princip elektrostatické adsorpce k držení a fixaci adsorbovaného materiálu. Je vhodný pro vakuové a plazmatické prostředí.

Sic nosiče destiček, jako klíčové spotřební materiály v polovodičovém řetězci třetí generace, jejich technické vlastnosti přímo ovlivňují výnos růstu epitaxiálního a výroby zařízení. S rostoucí poptávkou po vysoce napěťových a vysokoteplotních zařízeních v průmyslových odvětvích, jako jsou základní stanice 5G a nová energetická vozidla, nyní výzkum a použití nosičů SIC oplatky nyní čelí významným rozvojovým příležitostem.