Zprávy průmyslu

Povlak z karbidu tantalu (TaC) může výrazně prodloužit životnost grafitových dílů zlepšením odolnosti vůči vysokým teplotám, odolnosti proti korozi, mechanických vlastností a schopností tepelného managementu. Jeho vlastnosti vysoké čistoty snižují kontaminaci nečistotami, zlepšují kvalitu růstu krystalů a zvyšují energetickou účinnost. Je vhodný pro výrobu polovodičů a aplikace pro růst krystalů ve vysokoteplotním a vysoce korozivním prostředí.

V pole polovodičů se široce používají povlaky karbidu Tantalum (TAC), zejména pro složky reaktoru epitaxiálního růstu, složky klíče pro růst s jedním krystalem, průmyslové složky s vysokou teplotou, konzumace systému MOCVD a zlepšují se odolnost vůči zařízení a zlepšují stabilitu a zvyšují stabilitu a zvyšují stabilitu a zvyšují stabilitu a zvyšují stabilitu a zvyšují stabilitu a zvyšují stabilitu a zlepšují se krystalu a zvyšují rezistenci na korozi.

Během procesu epitaxního růstu SiC může dojít k selhání grafitové suspenze potažené SiC. Tento článek provádí rigorózní analýzu fenoménu porušení grafitové suspenze potažené SiC, která zahrnuje především dva faktory: porušení epitaxního plynu SiC a porušení povlaku SiC.

Tento článek pojednává hlavně o příslušných procesních výhodách a rozdílech procesu epitaxií molekulárního paprsku a technologií kovově organických chemických párů.