Zprávy průmyslu

Sic keramika je keramický materiál produkovaný reakcí prvků křemíku (SI) a uhlíku (c), s extrémně vysokou tvrdostí, tepelnou odolností a chemickou stabilitou

Ve světě polovodičů ve vysokém sázce je přesnost a stabilita vše-a tam vstoupí elektrostatické sklíčivo (ESC) mnohem více než jen nástroj pro držení, ESC používá elektrostatické síly k bezpečnému upínači během kritických procesů, jako je leptání, depozice a implantace iontu. Ale jak to vlastně funguje? Proč je lepší než tradiční mechanické upínání? A jakou roli hraje při dosahování přesnosti nanočástic a účinnosti propustnosti? Vítejte na čtení.

Princip elektrostatického sklíčidla DeChucku je klíčovou součástí jeho pracovního postupu, který zahrnuje eliminaci elektrostatických sil a mechanismy uvolňování oplatky.